ChemStudy

Наиболее распространенными и эффективными способами жидкостной обработки в промышленных условиях являются ультразвуковая очистка в растворителях, химико-динамическое травление, анодно-механическое травление.

При ультразвуковой очистке (рис. 3) пластины 1 помещают в ванну с водой (эмульсией) 2, на которую передаются вибрации через вибратор 3 от генератора 4. Механические вибрации способствуют перемешиванию растворителя и тем самым ускоряют процесс.

Рис. 3

Принцип химико-динамического травления заключается в интенсивном перемешивании травителя непосредственно над поверхностью пластин (рис.4). При вращении приводом 1 фторопластового барабана 2 травитель 3 омывает пластины 4, закрепленные на специальном диске 5, чем достигается хорошее перемешивание травителя и равномерное травление.

Рис. 4

В основу анодно-механического травления положено электрохимическое травление, сопровождаемое механическим воздействием (рис. 5). Электролит 2 подается на освещенные мощной лампой 1 (для генерации дырок) пластины 3, которые предварительно закрепляются на аноде 4, и соприкасаются с вращающимся катодным диском 5, содержащим радиальные канавки. При этом скорость электрополировки достигает 400нм/с.

Рис. 5

Особый интерес с точки зрения производительности и качества очистки представляет способ, основанный на возникновении кавитации в пограничном слое очищаемой поверхности. Условия кавитации создают механическим путем (центрифугированием), а в качестве растворителя используют дистиллированную воду с растворенным кислородом.

Способы жидкостной очистки используют на различных стадиях изготовления ИМС.

4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

4.3.1. Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

ГУННЫ , кочевой народ, сложился во 2-4 вв. в Приуралье из тюркоязычных хунну и местных угров и сарматов. Массовое передвижение гуннов на запад (с 70-х гг. 4 в.) дало толчок т. н. Великому переселению народов. Подчинив ряд германских и других племен, возглавили мощный союз племен, предпринимавший опустошительные походы во многие страны. Наибольшего могущества достигли при Аттиле. Продвижение гуннов на запад было остановлено их разгромом на Каталаунских полях (451). После смерти Аттилы (453) союз племен распался.

ЦАДКИН (Zadkine) Осип (1890-1967) , французский скульптор. Выходец из России. Испытал влияние кубизма и экспрессионизма (памятник "Разрушенный город" в Роттердаме, 1953).

ДИСТЕРВЕГ (Diesterweg) Адольф (1790-1866) , немецкий педагог-демократ, последователь И. Г. Песталоцци. Труды по педагогике, учебники по математике, естествознанию, немецкому языку и др.