ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ШАДРИН Владимир Николаевич (р . 1948), российский спортсмен, заслуженный мастер спорта (1971). Чемпион Олимпийских игр (1972, 1976), неоднократный чемпион мира и Европы (в 1970-75), СССР (в 1967-76) по хоккею с шайбой.

ЮВЯСКЮЛЯ (Jyvaskyla) , город в центральной части Финляндии, на оз. Ювясъярви, административный центр ляни Кески-Суоми. 67 тыс. жителей (1991). Машиностроение, деревообрабатывающая, химическая промышленность. Университет.

ИНВАЛИДНОСТЬ ,..1) стойкое нарушение (снижение или утрата) общей или профессиональной трудоспособности вследствие заболевания или травмы. В Российской Федерации в зависимости от степени потери трудоспособности законодательство устанавливает 1-ю, 2-ю или 3-ю группу инвалидности, временно (6-12 мес) или бессрочно. Инвалидам устанавливаются государственные пенсии (пособия) на льготных условиях, они обеспечиваются льготным или бесплатным лечением, протезированием, создаются условия для их трудоустройства (переквалификация в специальных школах, работа на дому). Инвалиды Великой Отечественной войны и приравненные к ним лица имеют, кроме перечисленных, ряд дополнительных льгот...2) Статистический показатель, характеризующий здоровье населения: отношение числа людей допенсионного возраста со стойкой утратой трудоспособности ко всему населению.