ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЗАБАБАХИН Евгений Иванович (1917-84) , российский физик, академик АН СССР (1968), Герой Социалистического Труда (1953). Основные труды по гидродинамике, теории взрыва и ударных волн. Ленинская премия (1958), Государственная премия СССР (1949, 1951, 1953).

СЕВЕРНАЯ ДВИНА , река на севере Европейской части Российской Федерации. 744 км, площадь бассейна 357 тыс. км2. Образуется слиянием рек Сухона и Юг, впадает в Двинскую губу Белого м., образуя дельту (площадь ок. 900 км2). До впадения Вычегды называется Малой Северной Двиной, ниже - Большой Северной Двиной или собственно Северной Двиной. Средний расход воды 3490 м3/с. Соединяется через р. Сухона, оз. Кубенское и др. с Волго-Балтийским водным путем. Сплавная. Судоходна. В устье - г. Архангельск.

ХОЛЬБЕЙН (Гольбейн) (Holbein) Ханс Младший (1497 или 1498-1543) , немецкий живописец и график. Представитель Возрождения. Точным, четким по характеристике портретам (живопись и рисунок), картинам на религиозные темы, гравюрам свойственны реализм, ясность и величие искусства Ренессанса, монументальная цельность композиции ("Мертвый Христос", 1521; "Моретт", ок. 1534-35).