ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

АНГЛО-ЯПОНСКИЙ СОЮЗ , заключен 30.1.1902; направлен против России, а также преследовал цель укрепления господства союзников в Китае и Корее. Опираясь на Англо-японский союз, Япония развязала русско-японскую войну 1904-05. На Вашингтонской конференции 1921-22 Англо-японский союз заменен соглашением США, Великобритании, Франции и Японии.

ВАН АНЬШИ (1021-86) , китайский реформатор; в 1070-74 и 1075-76 первый министр. Ввел систему государственных ссуд крестьянам, заменил наемное войско армией, комплектуемой путем рекрутского набора, пытался регулировать рыночные цены. Большая часть реформ была отменена в 1085.

КОКОВ Валерий Мухамедович (р . 1941), российский государственный деятель, президент Кабардино-Балкарской Республики (1993). В 1990-91 председатель Верховного Совета Кабардино-Балкарской АССР, в 1991-92 первый заместитель председателя Совета Министров Кабардино-Балкарской Республики. В 1993-95 депутат Совета Федерации Федерального Собрания Российской Федерации, с 1995 член Совета Федерации. В 1997 избран президентом на второй срок.