ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ТУПАЙИ , семейство полуобезьян отряда приматов (выделяются также в самостоятельный отряд). Длина тела до 25 см, хвоста до 20 см. Близки к лемурам. 18 видов, в тропических и горных дождевых лесах Юго-Вост. Азии.

ЖИКИДИ (Jiquidi) Аурел (1896-1962) , румынский график. Лаконичные драматические антифашистские рисунки ("Здесь побывали легионеры", 1936), рисунки на историко-революционные темы, иллюстрации к произведениям Й. Крянгэ, М. Садовяну.

УНШЛИХТ Иосиф Станиславович (1879-1938) , политический деятель. В 1919 нарком по военным делам Литовско-Белорусской ССР. С 1921 заместитель председателя ВЧК ГПУ. С 1923 член Реввоенсовета России, в 1925-1930 заместитель председателя Реввоенсовета СССР и заместитель наркомвоенмора. В 1933-35 начальник Главного управления Гражданского воздушного флота. Кандидат в члены ЦК в 1925-37. Репрессирован; реабилитирован посмертно.