ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЕФРЕМОВ Михаил Григорьевич (1897-1942) , генерал-лейтенант (1940). В Великую Отечественную войну командующий Центрального фронта и армией в Смоленском сражении и Московской битве. Погиб под Вязьмой.

ИСПАНСКАЯ РЕВОЛЮЦИЯ 1820-23 , началась в январе 1820 выступлением под руководством Р. Риего-и-Нуньеса в Кадисе, восстановлением (март 1820) конституции 1812, образованием конституционного правительства (март - апрель 1820, правительство модерадос), которое провело ряд реформ. В августе 1822 власть перешла в руки эксальтадос; в мае 1823 вступил в силу закон об аграрной реформе. 7 апреля 1823 в Испанию по решению Священного союза вторглась французская армия. 30 сентября конституционное правительство капитулировало. 1 октября король Фердинанд VII восстановил абсолютистский режим.

ЗАРУДНЫЙ Сергей Иванович (1821-87) , российский ученый-юрист, специалист по гражданскому праву и процессу, сенатор (с 1869). Участник подготовки крестьянской (1861) и судебных (1864) реформ. Переводил на русский язык Данте и Ч. Беккариа.