ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

МЕЙЛАХ Борис Соломонович (1909-87) , российский литературовед. Работы об А. С. Пушкине, Л. Н. Толстом, психологии художественного творчества. Государственная премия СССР (1948).

ЭТНОГРАФИЯ (от греч . ethnos - племя, народ и ...графия) (этнология), наука об этносах (народах), изучающая их происхождение и расселение, быт и культуру. Становление этнографии как науки во 2-й пол. 19 в. связано с эволюционной школой (Э. Тайлор, Л. Г. Морган и др.), исходившей из идей единства культуры человечества. С кон. 19 в. исследует региональные культуры и их взаимовлияние (диффузионизм, культурно-историческая школа). Развитие теоретической этнографии в 20 в. связано с концепциями Э. Дюркгейма, З. Фрейда, Л. Лени-Брюля, Б. Малиновского, А. Радклифф-Радклифф-Брауна, К. Леви-Строса и др.

РАСКОВА Марина Михайловна (1912-43) , российская летчица-штурман, Герой Советского Союза (1938), майор (1942). В 1938 - беспосадочный перелет Москва - Дальний Восток вместе с П. Д. Осипенко и В. С. Гризодубовой. В Великую Отечественную войну командир женского бомбардировочного полка. Погибла при исполнении служебных обязанностей.