ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ВИЛОРОГ (вилорогая антилопа) , жвачное животное отряда парнокопытных. Единственный вид семейства вилорогов. Длина до 1,3 м, высота 0,8-1 м. 5 подвидов в степях Сев. Америки. Был объектом промысла (мясо, шкура). Малочислен. 2 подвида в Красной книге Международного союза охраны природы и природных ресурсов.

ФОРМОВОЕ САДОВОДСТВО , выращивание плодовых и декоративных деревьев в искусственных, создаваемых обрезкой кроны формах (пирамида, ваза, кордон, пальметта и др.), обеспечивающих урожайность и декоративность.

ФОМА КЕМПИЙСКИЙ (Thomas a Kempis) , Томас Хемеркен, Хеммерлейн или Моллеолус (ок. 1380-1471), нидерландский христианский писатель. С 1406 в монастыре близ Цволле; был близок к предреформационному течению "Братьев общей жизни". Трактат "О подражании Христу" приобрел необычайную популярность (св. 2 тыс. изданий) и был переведен на все европейские языки (на русский язык - К. П. Победоносцевым). Память в Католической церкви 25 июля.