ChemStudy

Скорость травления в полирующих травителях определяется скоростью диффузии реагента и зависит от градиента его концентрации:

(1)

где D - коэффициент диффузии реагента, зависящий от природы и энергии активации молекул реагента; и - концентрация реагента в объеме и на поверхности; - толщина приповерхностного слоя травителя, в котором существует градиент концентрации.

При этом скорость травления нечувствительна к физическим и химическим неоднородностям поверхности, слабо зависит от температуры. Вследствие более высокого градиента концентрации выступы на поверхности травятся быстрее впадин. Поэтому полирующие травители хорошо сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф. Типичными полирующими травителями для кремниевых пластин являются смеси азотной и фтористоводородной (плавиковой) кислот.

Существуют две теории саморастворения кремния в травителях: химическая и электрохимическая. Согласно химической теории поверхностные химические реакции при полирующем травлении протекают в два этапа: окисление поверхностного слоя и перевод оксида в растворимую соль. Роль окислителя выполняет азотная кислота:

(2)

Фтористо-водородная кислота является комплексообразователем, который переводит оксид кремния в тетрафторид:

(3)

В соответствии с электрохимической теорией взаимодействие между полупроводником и травителем обусловлено тем, что на поверхности пластины при погружении ее в травитель существуют анодные и катодные микроучастки, между которыми возникают локальные токи.

На анодных участках происходит окисление кремния с последующим растворением оксида и образованием кремний-фтористоводородной кислоты, на катодных - восстановление окислителя (азотной кислоты). В процессе травления микроаноды и микрокатоды непрерывно меняются местами.

Результирующее уравнение реакции при этом имеет вид:

(4)

ЯНО-ОЙМЯКОНСКОЕ НАГОРЬЕ , на северо-востоке Сибири, в Якутии; ограничено на юге и западе Верхоянским хр., на северо-востоке системой хр. Черского. Ок. 1100 км. Высота от 400 до 200 м. Месторождения золота, полиметаллических руд.

КОНДАКАРНОЕ ПЕНИЕ , пение мелизматического типа (см. Орнаментика), характерное для богослужения при княжеском дворе в Киевской Руси. Репертуар кондакарного пения записан в кондакарях - певческих книгах 12-13 вв. Предположительно кондакарное пение имеет византийское происхождение. Нотация кондакарного пения пока не расшифрована.

ОПАВА (Opava) , город в Чехии, на р. Опава. 64 тыс. жителей (1991). Машиностроение, пищевая, текстильная промышленность. Основан в 1224. Был центром Опавского княжества (с 1348 лен чешского короля).