ChemStudy

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

4.3.2. Газовое травление.

Сущность газового травления заключается в химическом взаимодействии материала пластин с газообразными веществами и образовании при этом легко улетучиваемых соединений. В процессе газового травления загрязнения удаляются вместе со стравливаемым приповерхностным слоем пластин.

Газовое травление как метод окончательной очистки применяют в первую очередь непосредственно перед теми технологическими процессами, в которых определяющую роль играет структура поверхностного слоя (например, перед эпитаксиальным наращиванием). В качестве травителей используют смеси водорода или гелия с галогенами (фтор, хлор, бром), галогеноводородами (HBr, HC1), сероводородом, гексафторидом серы.

Молярное содержание этих веществ в водороде или гелии может изменяться от десятых долей процента до единиц процентов. Очистку осуществляют при температурах 800-1300°С в установках термического окисления либо непосредственно в реакторах эпитаксиального наращивания.

Наибольшее распространение получило травление кремниевых пластин хлористым водородом при температурах 1150-1250°С, при этом происходит реакция:

(9)

Скорость травления зависит от температуры и концентрации HC1 в водороде. Аналогично происходит травление кремния в HBr.

Травление кремниевых пластин в парах тетрахлорида кремния сопровождается реакцией

(10)

При хлорном травлении в качестве газоносителя используют гелий. Травление осуществляют при температуре около 1000°С и содержании хлора в гелии не более 0,2% в соответствии с реакцией:

ВАНИН Василий Васильевич (1898-1951) , российский актер, режиссер, народный артист СССР (1949). На сцене с 1920. В 1924-49 в Театре им. Моссовета. Снимался в фильмах: "Ленин в Октябре", "Ленин в 1918 году", "Секретарь райкома", "Валерий Чкалов" и др. Профессор ВГИКа (с 1949). Государственная премия СССР (1943, 1946, 1949).

ЛИ (Lee) Брюс (1941-73) , американский киноактер. Впервые снялся в кино в возрасте 6-ти месяцев ("Девушка золотых ворот", 1941). В 1946 под псевдонимом Ли Сяо Кунг (Маленький дракон) исполнил первую главную роль в фильме "Начало". Изучал боевое искусство кун-фу в Гонконге, открыл собственную школу в США. Снимался в телесериале "Зеленый шершень" (1966). В Голливуде дебютировал фильмом "Марлоу" (1969). Снимался в фильмах: "Кулаки ярости" (1972), "Возвращение дракона" (1973).

РЖЕВСКАЯ Елена Моисеевна (р .1919), русская писательница. В прозе, сочетающей публицистичность и художественно-документальное начало с лирической интонацией, обращается к военной теме, послевоенному городскому быту. Книги: "Весна в шинели" (1961), "Берлин, май 1945" (1965), "Ближние подступы" (1985) и др.