ChemStudy

Ионы фтора, а в ряде случаев и радикал активно взаимодействуют с кремнием, образуя летучее соединение . Уравнения, характеризующие химические реакции травления кремния, оксида и нитрида кремния в плазме , имеют вид

(15)

Характерно, что частицы, участвующие в травлении, травят различные материалы с разной скоростью. На этом основано свойство плазмохимического травления. Скорость травления определяется концентрацией атомов фтора и постоянной скорости химической реакции :

(16)

Концентрация обусловливается скоростью генерации атомов, что определяется конструкцией и мощностью реактора, а также временем жизни частиц в реакторе, которое зависит от скорости газового потока, давления и условий рекомбинации частиц.

Скорость травления строго зависит от температуры; ее влияние предопределяется физическими свойствами травящегося материала и газовым составом плазмы. Так, добавка кислорода к чистой плазме повышает скорость травления.

В плазме фторсодержащих газов можно травить некоторые металлы. Для травления применяют также плазму хлорсодержащих газов. Для удаления органических материалов используют кислородную плазму.

Промышленные конструкции реакторов рассчитаны на групповую обработку пластин с кассетной загрузкой и программным управлением.

В отечественной промышленности для различных целей плазмохимической обработки кремниевых пластин используются автоматизированные реакторы «Плазма 600» (для удаления фоторезиста и очистки поверхности пластин при изготовлении биполярных ИМС) и «Плазма 600Т» (для удаления фоторезиста, очистки поверхности пластин и травления диэлектрических слоев). Плазмохимическое травление применяют также для локальной обработки поверхностей.

Способы сухой очистки пластин и локальной их обработки наиболее эффективны при создании БИС и СБИС на элементах с микронными и субмикронными размерами.

4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек.

Выбор способа очистки зависит от вида загрязнений. Эффективная очистка достигается при сочетании нескольких способов очистки. В качестве примера в таблице 2 приведены данные по использованию различных способов очистки в зависимости от вида загрязнений.

Таблица 2

Виды загрязнений и способы их удаления

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РАКЕТНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ , ракетный двигатель, в котором в качестве источника энергии для создания тяги используется электрическая энергия бортовой энергоустановки космического летательного аппарата. Применяется для коррекции траектории и ориентации космических аппаратов. Электрические ракетные двигатели разделяются на электротермические, электростатические и электромагнитные.

ГУННЫ , кочевой народ, сложился во 2-4 вв. в Приуралье из тюркоязычных хунну и местных угров и сарматов. Массовое передвижение гуннов на запад (с 70-х гг. 4 в.) дало толчок т. н. Великому переселению народов. Подчинив ряд германских и других племен, возглавили мощный союз племен, предпринимавший опустошительные походы во многие страны. Наибольшего могущества достигли при Аттиле. Продвижение гуннов на запад было остановлено их разгромом на Каталаунских полях (451). После смерти Аттилы (453) союз племен распался.

ШВЕЙЦАРСКИЙ ПОХОД СУВОРОВА , 10(21).9 - 27.9(8.10).1799, переход русских войск генерал-фельдмаршала А. В. Суворова из Сев. Италии через Альпы в Швейцарию во время войны 2-й антифранцузской коалиции (Австрия, Великобритания, Россия, Турция и др.) против Французской республики. После Итальянского похода войска Суворова были направлены в Швейцарию, откуда союзное австрийское командование отвело большую часть своих войск. Несмотря на превосходящие силы противника, русские войска с боями преодолели труднопроходимый перевал Сен-Готард, Чертов мост и через бездорожные горные хребты вышли из окружения в австрийские владения.