ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ОГ (Haug) Гюстав Эмиль (1861-1927) , французский геолог, иностранный член-корреспондент АН СССР (1925; иностранный член-корреспондент Петербургской АН с 1909). Основные труды по тектонике, стратиграфии, палеонтологии и региональной геологии Французских Альп. Доказывал, что трансгрессии в геосинклиналях сопровождаются регрессиями на платформах и наоборот. Автор учебника по геологии.

ПОЛИГАМИЯ (от поли ... и греч. gamos - брак) (многобрачие), термин, обозначающий групповой брак, полиандрию, чаще - полигинию.

ЭКЗОТИКА (от греч . exotikos - чужой, иноземный), причудливые, необычайные особенности (природы, обычаев, искусства и прочее) отдаленных стран.