ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЖАК-ДАЛЬКРОЗ (Jaques-Dalcroze) Эмиль (1865-1950) , швейцарский композитор и педагог. Создатель системы музыкально-ритмического воспитания. Его метод, основанный на связи музыки с движением, применялся в балетных школах и специальных институтах других стран, в т. ч. в России. Оперы, симфонии, вокально-симфонические и инструментальные сочинения.

ЖОФФРУА СЕНТ-ИЛЕР (Geoffroy Saint-Hilaire) , французские зоологи, отец и сын: 1) Этьен (1772-1844), эволюционист, один из предшественников Ч. Дарвина. Развивал учение о единстве плана строения всех животных, которое объяснял общностью их происхождения; критиковал учение Ж. Кювье о неизменяемости видов (публичная дискуссия, 1830). Положил начало экспериментальной тератологии и учению об акклиматизации животных. 2) Изидор (1805-61), академик (1833) и президент (1856-57) Парижской АН, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1856). Труды по тератологии, приручению и акклиматизации сельскохозяйственных животных. Автор первого курса общей биологии (1840).

НИТРОГЛИЦЕРИН , полный эфир глицерина и азотной кислоты. Слегка желтая густая жидкость. Температура замерзания 13,5 °С. Чувствителен к удару, трению, огню. Токсичен. Теплота взрыва 6,3 МДж/кг. Применяется в нитроглицериновых взрывчатых веществах и бездымных порохах. В медицине - сосудорасширяющее средство (улучшает коронарное кровообращение), используется в растворе или в таблетках под язык при приступах стенокардии. Для профилактики приступов стенокардии применяют специальные лекарственные формы нитроглицерина (напр., препарат "Сустак").