ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ГОЛЬБЕЙН Х ., см. Хольбейн Х.

ЧАГИН Борис Александрович (1899-1987) , российский философ, член-корреспондент АН СССР (1960). Основные труды по истории марксистско-ленинской философии и социологии, историческому материализму.

ЖУКРОВСКИЙ Войцех (р . 1916), польский писатель. Роман "Дни поражения" (1952) о трагедии Польши в сентябре 1939, "Крещенные огнем" (1961) о становлении новой власти в кон. 40-х гг. В романах "Каменные скрижали" (1966), "Запах собачьей шерсти" (1980) - современные моральные и политические проблемы; роман-парабола "На троне в Блабоне" (1986).