Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЗЕМНОЙ КОРЫ ИНСТИТУТ (ИЗК) Сибирского отделения РАН , организован в 1957 в Иркутске. Исследования строения земной коры и процессов в глубинных зонах, а также закономерностей формирования полезных ископаемых.
АВАДХАРА , горноклиматический и бальнеологический курорт в Грузии, в Абхазии, к северо-востоку от Гагры.
ЦИЦЕРОН (Cicero) Марк Туллий (106-43 до н . э.), римский политический деятель, оратор и писатель. Сторонник республиканского строя. Из сочинений сохранились 58 судебных и политических речей, 19 трактатов по риторике, политике, философии и более 800 писем. Сочинения Цицерона - источник сведений об эпохе гражданских войн в Риме.