Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЧУБИНАШВИЛИ Георгий Николаевич (1885-1973) , грузинский искусствовед, академик АН Грузии (1941). Исследование грузинской архитектуры и изобразительного искусства.
ЖУК Станислав Алексеевич (р . 1935), российский спортсмен и тренер (фигурное катание на коньках), мастер спорта (1957), заслуженный тренер СССР (1965). Чемпион СССР (1957-59, 1961) в парном катании.
ФИЛЛОХИНОН (витамин К1) , жирорастворимый витамин. Участвует в биосинтезе факторов свертывания крови. Содержится в зеленых частях растений. У человека и млекопитающих животных образуется микрофлорой кишечника. Недостаток приводит к кровотечениям, снижению активности ряда ферментов.