ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ХАРЬКОВСКИЙ СЕЛЬСКОХОЗЯЙСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ им . В. В. Докучаева, основан в 1816 как Агрономический институт. Готовит инженеров по сельскохозяйственным, химическим, экономическим, экологическим и другим специальностям. В нач. 90-х гг. ок. 5 тыс. студентов.

УИЛКИНСОН (Wilkinson) Джефри (р . 1921), английский химик-органик, один из основоположников металлоорганической химии переходных элементов. Установил (1952) химическое строение ("сэндвичевое") ферроцена. Открыл "катализатор Уилкинсона". Нобелевская премия (1973, совместно с Э. Фишером).

ЖЕМЧУЖНЫЙ ПАТ , смесь кальциевой соли гуанина, находящейся на чешуе некоторых рыб (уклейки, чехони, белоглазки), с нитроцеллюлозным лаком; густая масса серебристого цвета, похожая на перламутр. Применяется при изготовлении искусственного жемчуга, пластмасс с перламутровым отливом и т. д.