ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ДВУПОЛОСТНЫЙ ГИПЕРБОЛОИД , один из двух типов гиперболоидов.

ДАЛЬНОМЕР , прибор для косвенных измерений расстояний до объектов. По принципу действия дальномеры подразделяются на 2 основные группы. 1-ю группу составляют оптические дальномеры; задача измерения расстояния такими дальномерами сводится к решению равнобедренного треугольника по известным основанию - базе и противолежащему (т. н. параллактическому) углу. 2-ю группу составляют акустические дальномеры, радиодальномеры, электрооптические дальномеры; такие дальномеры дают показания по результатам измерений временных (или фазовых) соотношений между посылаемыми в направлении на объект акустическими или электромагнитными сигналами и принимаемыми эхо-сигналами (отраженными от объекта). Дальномеры используют в геодезии, топографии, навигации, астрономии, фотографии, военном деле и других областях.

КОКАНДСКОЕ ВОССТАНИЕ 1873-76 , в Кокандском ханстве во главе с Пулат-беком; вызвано гнетом хана Худояра и русской военной экспансией. Подавлено царскими войсками.