ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЧИХУАХУА (исп . chihuahua), порода мелких декоративных собак, выведена в Мексике. Встречаются длинношерстные и короткошерстные разновидности. Разводят во многих странах, в т. ч. в России.

ЖЕЛЕЗНОГОРСК , город (с 1962) в Российской Федерации, Курская обл., близ ж.-д. ст. Михайловский Рудник. 90,4 тыс. жителей (1992). Добыча железной руды (Михайловский горно-обогатительный комбинат), производство стройматериалов и др.

ИСПАНСКАЯ РЕВОЛЮЦИЯ 1820-23 , началась в январе 1820 выступлением под руководством Р. Риего-и-Нуньеса в Кадисе, восстановлением (март 1820) конституции 1812, образованием конституционного правительства (март - апрель 1820, правительство модерадос), которое провело ряд реформ. В августе 1822 власть перешла в руки эксальтадос; в мае 1823 вступил в силу закон об аграрной реформе. 7 апреля 1823 в Испанию по решению Священного союза вторглась французская армия. 30 сентября конституционное правительство капитулировало. 1 октября король Фердинанд VII восстановил абсолютистский режим.