ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ФУНЕВ Иван (1900-83) , болгарский скульптор. Правдивые произведения на темы из жизни рабочих (рельеф "В вагоне третьего класса", 1935).

АБОРТ (лат . abortus - выкидыш) у человека, прерывание беременности в сроки до 28 недель (т. е. до момента, когда возможно рождение жизнеспособного плода). Самопроизвольный аборт может возникнуть при недоразвитии половых органов, некоторых заболеваниях матери или плода. Искусственный медицинский аборт производят в сроки до 12 недель по желанию женщины; по медицинским показаниям - и в более поздние сроки. Аборт вне лечебного учреждения (т. н. криминальный) нередко приводит к тяжелым осложнениям. Российским правительством установлена уголовная ответственность за аборт, осуществленный врачом вне лечебного учреждения или лицом, не имеющим высшего медицинского образования.Аборт у животных - следствие неполноценности мужских или женских половых клеток, некоторых инфекционных или паразитарных болезней, а также нарушения правил кормления и эксплуатации беременных животных.

УПЫРЬ , то же, что вампир.