ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

УНИЯ (от позднелат . unio - единение),..1) объединение, союз государств: т. н. персональная (личная) уния - под властью одного монарха; реальная уния - на основе договора или одностороннего акта более сильного государства...2) Уния церковная - объединение православной и католической церквей. См. Униатская церковь.

ПОСЕЛОК , в Российской Федерации низовая административно-территориальная единица, населенный пункт, расположенный вне городской черты. Существует 3 вида: рабочие поселки (на их территории имеются промышленные предприятия, стройки, железнодорожные узлы и другие объекты; население не менее 3 тыс. человек); курортные поселки (имеют лечебное значение; население не менее 2 тыс. человек); дачные поселки (места летнего отдыха горожан). Население рабочих и курортных поселков (общее название "поселок городского типа") включается в состав городского населения.

ЦЕЛОЗИЯ , род трав семейства амарантовых. Ок. 60 видов, преимущественно в субтропиках Африки и Америки. Целозия серебристая и др. - декоративные растения.