ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ЕРЕСИ (от греч . hairesis - особое вероучение), в христианстве течения, отклоняющиеся от официальной церковной доктрины в области догматики и культа. Наибольшего развития достигли в средние века. Среди наиболее значительных: ереси павликиан, катаров, вальденсов, лоллардов, таборитов; в России - стригольников. В переносном смысле - отклонение от чего-либо принятого в обществе за неоспоримое; заблуждение.

ЛОКТИОНОВ Александр Дмитриевич (1893-1941) , военачальник, генерал-полковник (1940). Участник 1-й мировой и Гражданской войн. В Красной Армии с 1918. В 1921-33 командир стрелковой бригады, дивизии, корпуса. В 1933-37 помощник командующего войсками Белорусского, позднее Харьковского военных округов по авиации. В 1937 командующий войсками Среднеазиатского военного округа. В 1939-40 заместитель наркома обороны. С 1940 командующий войсками Прибалтийского особого военного округа. Репрессирован, посмертно реабилитирован.

ХАРЬКОВСКИЙ СЕЛЬСКОХОЗЯЙСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ им . В. В. Докучаева, основан в 1816 как Агрономический институт. Готовит инженеров по сельскохозяйственным, химическим, экономическим, экологическим и другим специальностям. В нач. 90-х гг. ок. 5 тыс. студентов.