ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ДЕ ПАЛЬМА (De Palma) Брайан (р . 1940), американский кинорежиссер, сценарист и продюсер. Приобрел известность экранизацией романа С. Кинга "Керри" (1976), с которой в американском кино утвердилось новое направление, соединяющее мистические мотивы с реалистически воспроизведенным бытом среднего класса. В дальнейшем снимал триллеры ("Одетый для убийства",1980), детективы ("Лицо со шрамом", 1983), драмы ("Военные потери", 1989) и др.

ЯГОДА Генрих Григорьевич (1891-1938) , политический деятель. С 1920 член президиума ВЧК, с 1924 заместитель председателя ОГПУ при СНК СССР, генеральный комиссар государственной безопасности (1935), нарком внутренних дел СССР (1934-36). В 1936-37 нарком связи СССР. Член ЦК ВКП(б) с 1934. Возглавляя органы внутренних дел, был одним из главных исполнителей массовых репрессий. Расстрелян.

ЗИНА Законник (1 в .), апостол от 70-ти, ученик апостола Павла (Послание к Титу 3:13), епископ в г. Диосполь или Лидда (Палестина). Память в Православной церкви 4 (17) января и 27 сентября (10 октября).