ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ТУРКЕСТАНСКАЯ АВТОНОМНАЯ СОВЕТСКАЯ СОЦИАЛИСТИЧЕСКАЯ РЕСПУБЛИКА (ТАССР) , в составе РСФСР, 30.4.1918-27.10.1924. Население св. 5 млн. человек. Столица - Ташкент. На территории ТАССР были созданы Узбекская ССР, Туркменская ССР, Таджикская АССР, Кара-Киргизская АО, Каракалпакская АО.

ТЕЛЕМЕХАНИКА (от теле ... и механика),..1) наука об управлении и контроле на расстоянии с передачей (по каналу связи) кодированных электрических или радиосигналов, несущих управляющую информацию или данные о состоянии контролируемого объекта. Объектами телемеханического управления и контроля могут служить технологические процессы, машины, устройства, биологические системы и др...2) Отрасль техники, разрабатывающая, создающая и использующая средства кодирования, передачи и приема информации по каналам проводной и радиосвязи. В системах телемеханики информация обычно передается в кодированном виде по одному каналу связи. Средства телемеханики используются для телеизмерений и телеуправления объектами энергосистем, газо- и нефтепроводов, атомных электростанций, некоторых химических предприятий, автоматических метеостанций и др.

АУДИТОРЫ (от лат . auditor - слушатель), отдельные лица или специальные компании, уполномоченные финансовым органом или приглашенные предприятием, фирмой провести проверку его отчетности и финансового положения. Аудиторы дают также оценку предполагаемых операций, степени их риска, эффективности и т. д. В большинстве стран отчетность, подтвержденная аудиторами, подлежит обязательной публикации. В Российской Федерации в 1991 создана аудиторская служба. Законодательство устанавливает, в каких случаях обязательно заключение аудиторов.