ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

"УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ" ТЕОРИЯ , теория, согласно которой господство акционерной формы предприятий приводит к отстранению собственников капитала от власти, к передаче ее в руки менеджеров, технократов. Возникла в 30-е гг. 20 в. (работы А. Берли и Г. Минса). В 40-е гг. развивалась Дж. Бернхемом, в 60-70-е гг. - Дж. Голбрейтом и др. "Управленческой революции" теория отражает процесс формирования института профессиональных организаторов производства - менеджеров.

ШТИТНЫЙ (Stitny) Томаш (ок . 1333 - ок. 1405), идеолог мелкого чешского рыцарства. Автор трактатов (на чешском языке) на религиозно-философские и моральные темы (критика католической церкви и феодальных порядков).

ЭКСПОНЕНЦИАЛЬНАЯ ФУНКЦИЯ , то же, что показательная функция.