ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

"РУССКИЙ ЯЗЫК" , издательство, Москва. Основано в 1974. Литература для иностранцев, изучающих русский язык, филологические и научно-технические словари и др.

ЗАПАДНО-КАЗАХСТАНСКАЯ ОБЛАСТЬ , в Казахстане. 151,2 тыс. км2. Население 648 тыс. человек (1991). Адм. ц. - Уральск.

ШВАРЦМАН Ошер Маркович (1889-1919) , еврейский поэт. Революционная романтика, лирическая достоверность в сборниках "Стихи" (опубликован 1923), "Стихи и письма" (опубликован 1935). Погиб на фронте в Гражданскую войну.