ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

АМПЕЛОПСИС , то же, что виноградовник.

"ЧЕТЫРЕ ИСКУССТВА" , общество художников (1924-31) в Москве. Включало главным образом бывших членов "Мира искусства" и "Голубой розы" - живописцев, графиков, скульпторов и архитекторов (И. В. Жолтовский, А. И. Кравченко, П. В. Кузнецов, А. Т. Матвеев, В. И. Мухина, М. С. Сарьян, А. В. Щусев). Члены общества стремились к высокому профессиональному мастерству, эмоциональной реалистической передаче действительности в изобразительном искусстве; разрабатывали принципы современного градостроительства.

ХЛОРИРОВАНИЕ ,..1) введение в молекулы органического соединения атомов хлора, напр.: СН4 + Сl2 ? СН3Сl + НСl. О применении продуктов хлорирования см. в ст. Галогенирование...2) Технологические процессы в цветной металлургии - нагрев материалов в атмосфере хлора, хлорсодержащих газов или в присутствии хлоридов металлов (виды хлорирования - хлорирующий обжиг, хлоридовозгонка, сегрегация). Из образующихся хлоридов извлекают цветные металлы...3) Обеззараживание питьевой воды, сточных вод, мест скопления нечистот и отбросов путем обработки газообразным хлором, хлорной известью или др. хлорсодержащими соединениями. Хлорирование используется также для обесцвечивания, дезодорации воды и др. целей.