ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

СПОРТКОМПЛЕКС "ОЛИМПИЙСКИЙ" , комплекс спортивных сооружений в Москве (1980; архитекторы М. В. Посохин, Б. И. Тхор; Ленинская премия 1982). Включает крупнейший в России крытый стадион (трибуны на 45 тыс. мест) и крытый бассейн (15 тыс. мест). Построен с учетом требований к олимпийским стадионам.

ЧЕНДЛЕР (Chandler) Сет Карло (1846-1913) , американский астроном. Труды по исследованию изменения широт и движению полюсов Земли. Нашел, что в изменениях широт имеются 2 периода, один из которых назван его именем.

ОПТИЧЕСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ , электромагнитные волны с длиной в диапазоне от 1 нм до 1 мм. К оптическому излучению помимо воспринимаемого человеческим глазом видимого света относятся инфракрасное и ультрафиолетовое излучения.