Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЦАДКИН (Zadkine) Осип (1890-1967) , французский скульптор. Выходец из России. Испытал влияние кубизма и экспрессионизма (памятник "Разрушенный город" в Роттердаме, 1953).
БАКТРА , город (6 в. до н. э. - 16 в. н. э.), столица Бактрии, затем Кушанского царства. Ныне городище Балх у одноименного города в Сев. Афганистане.
БАРРАГАН (Barragan) Луис (р .1901), мексиканский архитектор. Используя обожженный кирпич, лепнину и необработанное дерево, старался добиться гармоничного соединения дома и окружающего сада (резиденция Сан Кристобальт, 1967-68; частное строительство в Мехико и его пригородах).