Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции 
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции 
:
(5)
где 
и 
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ЯРОШЕНКО Николай Александрович (1846-98) , российский живописец. Передвижник. Драматический образ рабочего ("Кочегар", 1878), выразительные портреты, жанровые произведения, посвященные революционной интеллигенции ("Заключенный", 1878) и тяготам народной жизни ("Всюду жизнь", 1888).
ФОТОТЕОДОЛИТ , конструктивное объединение фотокамеры и теодолита для определения координат точек местности.
ТЕАТР "КРЕМЛЕВСКИЙ БАЛЕТ" , основан в 1990. Художественный руководитель и главный балетмейстер А. Б. Петров. С театром "Кремлевский балет" сотрудничают Е. С. Максимова (балетмейстер-репетитор) и до 1995 В. В. Васильев (балетмейстер-постановщик) и др.