Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Страница 11

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

БРЕКЕНРИДЖ (Brackenridge) Хью Генри (1748-1816) , американский писатель. Один из первых прозаиков США. Авантюрный сатирический роман "Современное рыцарство" (1792-1805) об эпохе фронтира. Патриотические поэмы "Сражение при Банкер-Хилле" (1776), "Смерть генерала Монтгомери" (1777).

МНОГОГРАННЫЙ УГОЛ , см. Телесный угол.

ЩЕРБАТОВ Михаил Михайлович (1733-90) , князь, историк, публицист, почетный член Петербургской АН (1776). Идеолог корпоративных устремлений дворянства. Труды: "О повреждении нравов в России", (1858), утопический роман "Путешествие в землю Офирскую" (Cочинение, т. 1, 1896), "История Российская с древнейших времен" (т. 1-7, 1901-04).