ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ИТАЛЬЯНСКИЙ ПОХОД СУВОРОВА , апрель-август 1799, военные действия российских и австрийских войск под командованием генерал-фельдмаршала А. В. Суворова в Сев. Италии против французских войск во время войны Франции со 2-й антифранцузской коалицией (1798-1802). Победы российских войск (на реках Адда и Треббия и при Нови) и российского флота в Средиземноморском походе Ф. Ф. Ушакова 1798-1800 привели к освобождению Италии от французского господства.

ЭМБА , город (с 1967) в Казахстане, Актюбинская обл., на р. Эмба. Железнодорожная станция. 17 тыс. жителей (1991). Предприятия железнодорожного транспорта, мясокомбинат. В районе - добыча нефти.

ЭЙЗЕНАХ (Айзенах) (Eisenach) , город в Германии, земля Тюрингия, на р. Херзель. 45 тыс. жителей (1991). Автостроение, электротехническая, шерстяная, пищевая промышленность. Дом Мартина Лютера. Музей Иоганна Себастьяна Баха.