Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 11
Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.
Для ряда травителей энергия активации химической реакции
на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции
:
(5)
где
и
- концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.
Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение
, то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.
* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.
В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '
.
Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).
Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.
ФЕМИНИЗАЦИЯ (от лат . femina - женщина),..1) развитие у особи мужского пола женских вторичных половых признаков (напр., появление у петухов оперения, свойственного курам). Связана с нарушением деятельности желез внутренней секреции. Ср. Маскулинизация...2) Возрастание роли и влияния женщин в каких-либо областях общественной жизни, в обществе в целом.
"ВОЕННЫЙ КОММУНИЗМ" , внутренняя политика Советского государства в условиях Гражданской войны. Политика "Военного коммунизма" была направлена на преодоление экономического кризиса и опиралась на теоретические представления о возможности непосредственного введения коммунизма. Основные черты: национализация всей крупной и средней промышленности и большей части мелких предприятий; продовольственная диктатура, продразверстка, прямой продуктообмен между городом и деревней; замена частной торговли государственным распределением продуктов по классовому признаку (карточная система); натурализация хозяйственных отношений; всеобщая трудовая повинность; уравнительность в оплате труда; военно-приказная система руководства всей жизнью общества. После окончания войны многочисленные выступления рабочих и крестьян против политики "Военного коммунизма" показали ее полный крах, в 1921 введена новая экономическая политика.
ЧЕРНЬ (ниелло) (итал . niello, от лат. niger - черный), черные или темно-серые изображения, нанесенные на металл (золото, серебро) путем гравировки и заполнения штрихов т. н. черневым сплавом (из серебра, меди и др.).