ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

"ВОЕННЫЙ КОММУНИЗМ" , внутренняя политика Советского государства в условиях Гражданской войны. Политика "Военного коммунизма" была направлена на преодоление экономического кризиса и опиралась на теоретические представления о возможности непосредственного введения коммунизма. Основные черты: национализация всей крупной и средней промышленности и большей части мелких предприятий; продовольственная диктатура, продразверстка, прямой продуктообмен между городом и деревней; замена частной торговли государственным распределением продуктов по классовому признаку (карточная система); натурализация хозяйственных отношений; всеобщая трудовая повинность; уравнительность в оплате труда; военно-приказная система руководства всей жизнью общества. После окончания войны многочисленные выступления рабочих и крестьян против политики "Военного коммунизма" показали ее полный крах, в 1921 введена новая экономическая политика.

АРЕКИПА (Arequipa) , город на юге Перу. 634 тыс. жителей (1990). Шерстяная, кожевенная, пищевая промышленность. Университет. Основан в 1540. Архитектурный памятник 16-18 вв.

ЕЛИЗАВЕТПОЛЬСКОЕ СРАЖЕНИЕ , 13-14.9.1826 под Елизаветполем (ныне Гянджа) во время русско-персидской войны 1826-28. Русские войска под командованием генерала И. Ф. Паскевича разгромили персидскую армию наследника престола Аббас-мирзы.