ChemStudy

Следует отметить, что очистке поверхности полупроводниковых пластин путем их обработки в полирующих травителях предшествует обязательное обезжиривание поверхности.

Для ряда травителей энергия активации химической реакции на порядок и более превышает энергию активации, определяющую скорость диффузии реагента. В этом случае скорость травления определяется скоростью химической реакции :

(5)

где и - концентрации реагирующих веществ; R - универсальная газовая постоянная; а и b - показатели, численно равные коэффициентам в уравнении химической реакции.

Поскольку энергия активации химической реакции зависит от неоднородности поверхности, скорость травления чувствительна к состоянию поверхности. Так как различные кристаллографические плоскости структуры кремния имеют разное значение , то скорость травления зависит от ориентации пластин, а также от температуры.

* Травители, для которых контролирующей стадией является химическая реакция, называются селективными.

В качестве селективных травителей пластин кремния используют водные растворы щелочей (например, NaOH, КОН) и гидразин гидрат '.

Для селективных травителей характерная разница скоростей травления в различных кристаллографических направлениях достигает одного порядка и более. Так, для щелочных травителей изменение скорости травления соответствует схеме (100) >(110)> (111).

Травление с большой разницей скоростей травления в различных кристаллографических направлениях называют анизотропным.

ФИЛАТОВ Леонид Алексеевич (р . 1946), российский актер, заслуженный артист России. С 1969 в Московском театре на Таганке. Роли: Дмитриев ("Обмен" по Ю. В. Трифонову, 1976), Мастер ("Мастер и Маргарита" по М. А. Булгакову, 1977), Барон и Дон Карлос ("Пир во время чумы" по "Маленьким трагедиям" А. С. Пушкина, 1989) и др. Снимался в фильмах: "Успех" (1985), "Забытая мелодия для флейты" (1988), "Город Зеро" (1990) и др. Выступает как поэт, драматург и кинорежиссер, поставил фильм "Сукины дети" (1991).

ФАУЗЕР (Fauser) Джакомо (1892-1971) , итальянский химик-технолог. Создал первую установку для синтеза аммиака под давлением (1920). Труды по технологии азотной кислоты, мочевины и др.

СКЛАДНИЧЕСТВО , в Русском государстве форма объединения купцов для осуществления совместных торговых операций.