Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 7
Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.
4. Методы удаления загрязнений.
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.
Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).
В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:
· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;
· растворение в воде;
· химическая реакция.
Рис. 2.
Классификация методов очистки пластин и подложек
К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).
* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.
БРЮХОНОГИЕ (улитки) , класс моллюсков. Голова обычно с щупальцами и парой глаз. Раковина (высота от 0,5 мм до 70 см) спирально закручена, у некоторых отсутствует. 3 подкласса: переднежаберные, легочные, заднежаберные; ок. 90 тыс. видов. Морские, пресноводные и наземные формы. Многие брюхоногие промежуточные хозяева паразитических червей, ряд наземных форм повреждают садовые и огородные культуры, некоторые - объект промысла.
ПНЕВМОФОРМОВАНИЕ , способ изготовления изделий из листовых термопластов. Изделие оформляется под действием сжатого воздуха на лист, закрепленный над полостью формы. Применяется, напр., в производстве ванн, раковин, деталей остекления самолетов.
ХОД ЧАСОВ , изменение поправки часов за определенный промежуток времени (напр., за сутки). При отрицательном ходе часы уходят вперед, при положительном - все более отстают.