ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

МУХАТОВ Вели (Велимухамед) (р . 1916), туркменский композитор, народный артист СССР (1965), Герой Социалистического Труда (1986). Один из основоположников туркменской профессиональной музыки. Опера "Конец кровавого водораздела" (1967), кантаты и др. Профессор Туркменского педагогического института искусств (с 1982). Государственная премия СССР (1951, 1952).

ЛИВР (франц . livre, от лат. libra - римский фунт), 1) денежная единица Франции до введения в 1799 франка. Ливр обращался также в других странах, в т. ч. в Великобритании. 2) Мера массы во Франции до введения метрической системы (1 ливр - 489,5 г).

УФА , город (с 1586) в Российской Федерации, столица Башкирии, пристань на р. Белая, при впадении в нее р. Уфа. Железнодорожная станция. 1101 тыс. жителей (1993). Промышленность: нефтеперерабатывающая, химическая и нефтехимическая, машиностроение и металлообработка (производственные объединения: моторостроительные, "Электроаппарат", "Металлист"; заводы: машиностроительный, кабельный, электроламповый, горного оборудования и др.), деревообрабатывающая, легкая, пищевая. Производство стройматериалов. 7 вузов (в т. ч. Башкирский университет), научный центр Российской АН. 5 театров (в т. ч. Театр оперы и балета). Историко-краеведческий, геологический, художественный музеи, музей архитектуры и этнографии, Дома-музеи С. Т. Аксакова, М. Гафури. Основан в 1574.