ChemStudy

Наиболее трудно удаляются органические и химически связанные с поверхностью загрязнения, а также загрязнения от абразивных материалов, полярные газы и ионы, внедренные в приповерхностный слой пластин.

4. Методы удаления загрязнений.

4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек.

Для удаления загрязнений используют различные методы, на физических принципах которых разрабатывают процессы очистки. По механизму протекания процессов все методы очистки классифицируют на физические и химические, а по применяемым средствам - на жидкостные и сухие (рис.2).

В основу каждого способа очистки положен один из трех методов удаления загрязнений с поверхности:

· механическое удаление частиц загрязнителя потоком жидкости или газа;

· растворение в воде;

· химическая реакция.

Рис. 2.

Классификация методов очистки пластин и подложек

К физическим методам удаления загрязнений относят растворение, отжиг, обработку поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. Эти методы используют в основном для удаления загрязнений, расположенных на поверхности. Для удаления загрязнений на поверхности и в приповерхностном слое, в том числе тех, которые находятся в химической связи с материалом пластины или подложки, используют химические методы удаления. Они основаны на переводе путем химической реакции загрязнений в новые соединения, которые затем легко удаляются (травление, обезжиривание).

* Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.

ЯМАЛО-НЕНЕЦКИЙ АВТОНОМНЫЙ ОКРУГ , в Российской Федерации, Тюменская обл. Образован 10.12.1930. 750,3 тыс. км2, включая острова в Карском м. - Белый, Олений, Шокальского и др. Население 465 тыс. человек (1993), городское 83%; русские, ненцы, ханты, коми и др. 6 городов, 9 поселков городского типа. Центр - Салехард. Расположен на Западно-Сибирской равнине, в нижнем течении Оби; выдается на севере п-овами Гыданский и Ямал. Средние температуры января от -22 до -26 °С, июля 4-14 °С. Осадков 200-400 мм в год. Главная отрасль хозяйства - добыча газа (месторождения: Уренгойское, Медвежье, Ямбургское и др.) и нефти (месторождения Холмогорское и др.). Предприятия рыбной, лесной и деревообрабатывающей промышленности; оленеводство, звероводство, пушной промысел. Судоходство по рекам Обь, Надым, Пур, Таз и Северному морскому пути. Трубопроводный транспорт (газопроводы в европейскую часть России). В отдаленных районах велика роль оленьего транспорта.

ЛЬЮИС Карл (р . 1961), американский спортсмен (легкая атлетика). Чемпион Олимпийских игр 1984 (бег 100 и 200 м, эстафета 4 · 100, прыжки в длину), 1988 (бег 100 м, прыжки в длину) и 1992 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м). Семикратный чемпион мира: 1983 (бег 100 м, прыжки в длину, эсстафета 4 · 100 м), 1987 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м), 1991 (бег 100 м, эстафета 4 · 100 м). Десятикратный рекордсмен мира.

БИРМАНСКИЙ ЯЗЫК , официальный язык Мьянмы (б. Бирма). Относится к сино-тибетской семье языков. В основе бирманского алфавита один из видов южно-индийского письма.