Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 6
Типичные загрязнения
полупроводниковых пластин и их источники
Таблица 1.
| Загрязнения | Возможные источники |
|
Волокна (нейлон, целлюлоза и т. д.) |
Одежда, ткани, бумажные изделия |
|
Силикаты |
Горные породы, песок, почва, зола, пепел |
|
Окислы и окалина |
Продукты окисления некоторых металлов |
|
Масла и жиры |
Масла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытых участков тела, средства для волос, мази, лосьоны |
|
Силиконы |
Аэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук, мыло |
|
Металлы |
Порошки и отходы машинной обработки и шлифовки; изготовление металлических частей; частицы из металлических банок для хранения и металлических контейнеров |
|
Ионные примеси |
Продукты дыхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия); примеси из очищающих растворов, содержащие ионные детергенты; некоторые флюсы; примеси от предварительной химической операции, такой, как травление или металлизация |
|
Неионные примеси |
Неионные детергенты, органические материалы для обработки |
|
Растворимые примеси |
Очищающие растворители и растворы |
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА , отрасль науки и техники, связанная с получением, преобразованием и использованием электрической энергии и охватывающая вопросы применения электрических и магнитных явлений в промышленности, связи, на транспорте и др.
ИННЕСС (Inness) Джордж (1825-94) , американский живописец. Реалистические виды американской природы ("Долина Делавэра", 1859) отличаются одухотворенностью и интересом к естественному освещению.
ЛОНДОНСКОЕ КОРОЛЕВСКОЕ ОБЩЕСТВО (The Royal Society , London), ведущее научное общество Великобритании, один из старейших научных центров Европы. Основано в 1660. Среди инициаторов Р. Бойль. В числе первых руководителей. - Р. Гук, К. Рен, И. Ньютон. Св. 1 тыс. членов. Издает "Философские записки" - один из старейших научных журналов мира (с 1665).