Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 16
,
где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.
k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.
Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.
Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - 
. Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.
Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
6×1019 |
2,5 |
2,12 |
0,002716 |
1,63×1017 |
|
0,5 |
0,42 |
0,552532 |
3,32×1019 |
3 |
2,54 |
0,000328 |
1,968×1016 |
|
1 |
0,85 |
0,229332 |
1,376×1019 |
3,5 |
2,96 |
0,000028 |
1,68×1015 |
|
1,5 |
1,27 |
0,072486 |
4,35×1018 |
4 |
3,38 |
0,000001753 |
1,052×1014 |
|
2 |
1,69 |
0,016847 |
1,012×1018 |
4,5 |
3,8 |
0,000000077 |
4,62×1012 |
ИГНАТЬЕВ Павел Николаевич (1870-1926) , граф, почетный член АН СССР (1925; почетный член РАН с 1917). В 1904-07 председатель Киевской губернской земской управы. В январе 1915 - декабре 1916 министр народного просвещения. После Октябрьской революции в эмиграции.
БАЙЕР (Bayer) Готлиб Зигфрид (1694-1738) , немецкий историк, филолог, академик Петербургской АН (1725). Труды по ориенталистике и истории Др. Руси. Основоположник норманнской теории.
ТРИАТЛОН (от греч . tri - три и athlon - состязание, борьба), вид непрерывного спортивного троеборья: плавание (в открытом водоеме), велогонка, легкоатлетический кросс. Различают 3 вида триатлона: большой (3,8 км, 180 км, 42 км); средний (2,5 км, 80 км, 20 км); короткий (1,5 км, 40 км, 10 км). Зародился в США в 1970-х гг. В международной федерации триатлона - ИТФ (ITF; основана в 1987) св. 50 стран (1993). Официальные чемпионаты мира (с 1988), Европы (с 1985). В России культивируется с нач. 1980-х гг.