Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 16
,
где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.
k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.
Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.
Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - 
. Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.
Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
6×1019 |
2,5 |
2,12 |
0,002716 |
1,63×1017 |
|
0,5 |
0,42 |
0,552532 |
3,32×1019 |
3 |
2,54 |
0,000328 |
1,968×1016 |
|
1 |
0,85 |
0,229332 |
1,376×1019 |
3,5 |
2,96 |
0,000028 |
1,68×1015 |
|
1,5 |
1,27 |
0,072486 |
4,35×1018 |
4 |
3,38 |
0,000001753 |
1,052×1014 |
|
2 |
1,69 |
0,016847 |
1,012×1018 |
4,5 |
3,8 |
0,000000077 |
4,62×1012 |
ЕПИФАНИЙ СЛАВИНЕЦКИЙ (?-1675) , русский и украинский писатель и ученый. Проповеди, духовные песни, стихи; переводы А. Везалия, Эразма Роттердамского и др. Публицистика. Составитель греко-славяно-латинского и филологического словарей.
САД (Sade) Донасьен Альфонс Франсуа де (1740-1814) , маркиз, французский писатель. В 1772 заключен в тюрьму по обвинению в разврате. Освобожденный в 1790, во время Великой французской революции, напечатал написанные в тюрьме романы "Жюстина, или Злоключения добродетели" (1791, 1794). "Новая Жюстина..." (1797), книгу "Философия в будуаре" (1795) (все в 1801 конфискованы); книгу "Сто двадцать дней Содома" (опубликована в 1931-35). В произведениях Сада патологическая эротика, инцест неотделимы от насилия и жестокости (отсюда садизм); сочинения Сада переполнены описанием пыток, убийств, богохульств. Созданные в стиле жизненного правдоподобия, романы Сада по существу абсолютно фантастичны, носят черты утопии. Снимая все моральные, культурные, социальные нормы и запреты, Сад превращает человека в чисто "природное" существо, в биологический механизм. С 1803 пожизненно в лечебнице для душевнобольных.
ЮРТ (тюрк .),..1) семья или род, ведущие самостоятоятельное хозяйство;..2) владения рода;..3) совокупность владений отдельных татарских ханств.