Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 16
,
где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.
k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.
Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.
Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - 
. Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.
Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
6×1019 |
2,5 |
2,12 |
0,002716 |
1,63×1017 |
|
0,5 |
0,42 |
0,552532 |
3,32×1019 |
3 |
2,54 |
0,000328 |
1,968×1016 |
|
1 |
0,85 |
0,229332 |
1,376×1019 |
3,5 |
2,96 |
0,000028 |
1,68×1015 |
|
1,5 |
1,27 |
0,072486 |
4,35×1018 |
4 |
3,38 |
0,000001753 |
1,052×1014 |
|
2 |
1,69 |
0,016847 |
1,012×1018 |
4,5 |
3,8 |
0,000000077 |
4,62×1012 |
РЕСТАВРАЦИЯ во Франции , период вторичного правления династии Бурбонов в 1814-1815 (1-я Реставрация) и в 1815-30 (2-я Реставрация). 1-ю и 2-ю Реставрации разделяют "Сто дней". Конец Реставрации положила Июльская революция 1830.
ШОТЛАНДСКАЯ ОВЧАРКА , то же, что колли.
ЧАСЫ , прибор для отсчета времени. В часах используются постоянные периодические процессы: вращение Земли (солнечные часы), колебания маятника (механические и электромагнитные часы), камертона (камертонные часы), пластинки кварца (кварцевые часы), переход атомов из одного энергетического состояния в другое (квантовые часы). Измерение времени часами сводится к измерению числа периодов используемого процесса (напр., качания маятника). Часы условно подразделяют на бытовые (наручные, карманные, настольные, настенные и др.) и специальные (напр., секундомеры, хронометры). Первыми часами были солнечные; во 2-м тыс. до н. э. появились водяные часы; первые упоминания о механических часах относятся к кон. 6 в.; современные механические часы созданы Х. Гюйгенсом в 1657; в 70-х гг. 20 в. получили распространение электронные кварцевые часы с цифровой индикацией, напр. на жидких кристаллах.