Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 16
,
где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.
k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.
Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.
Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - 
. Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.
Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
6×1019 |
2,5 |
2,12 |
0,002716 |
1,63×1017 |
|
0,5 |
0,42 |
0,552532 |
3,32×1019 |
3 |
2,54 |
0,000328 |
1,968×1016 |
|
1 |
0,85 |
0,229332 |
1,376×1019 |
3,5 |
2,96 |
0,000028 |
1,68×1015 |
|
1,5 |
1,27 |
0,072486 |
4,35×1018 |
4 |
3,38 |
0,000001753 |
1,052×1014 |
|
2 |
1,69 |
0,016847 |
1,012×1018 |
4,5 |
3,8 |
0,000000077 |
4,62×1012 |
ХЭЙЛУНЦЗЯН , провинция в Северо-Вост. Китае. 469 тыс. км2. Население 36 млн. человек (1992). Адм. ц. - Харбин.
ШАМХОР , Шамкир, Шамкур [в 1928-37 - Аннино (Анненфельд)], город (с 1944) в Азербайджане, близ ж.-д. ст. Долляр. 27,9 тыс. жителей (1989). Предприятия пищевкусовой промышленности. В 652 взят арабами. В 12-13 вв. в составе Грузинского царства. В 1235 разрушен монголо-татарами. Входил в Гянджинское ханство; с 1803 в Российской империи.
ЭССЕКС (Essex) Роберт Девере (1591-1646) , граф, один из лидеров пресвитериан в английской революции 17 в. С 1642 главнокомандующий парламентской армией. Сторонник компромисса с королем. Противился перестройке армии на демократических началах. В 1645 после военных неудач сложил с себя командование.