Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 16
,
где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.
k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.
Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.
Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - 
. Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.
Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
6×1019 |
2,5 |
2,12 |
0,002716 |
1,63×1017 |
|
0,5 |
0,42 |
0,552532 |
3,32×1019 |
3 |
2,54 |
0,000328 |
1,968×1016 |
|
1 |
0,85 |
0,229332 |
1,376×1019 |
3,5 |
2,96 |
0,000028 |
1,68×1015 |
|
1,5 |
1,27 |
0,072486 |
4,35×1018 |
4 |
3,38 |
0,000001753 |
1,052×1014 |
|
2 |
1,69 |
0,016847 |
1,012×1018 |
4,5 |
3,8 |
0,000000077 |
4,62×1012 |
ЭЙЛИ (Ailеy) Алвин (1931-89) , американский актер, танцовщик, хореограф, педагог. Один из виднейших представителей школы танца "модерн". В 1958 основал собственную труппу Американский театр танца Алвина Эйли. Тематика и лексика большинства его постановок восходят к афро-американской музыкальной и танцевальной фольклорной традиции.
ЕГУДИН Валерий Григорьевич (р . 1937), российский певец (тенор), народный артист СССР (1983). С 1961 в Новосибирском театре оперы и балета. Профессор Новосибирской консерватории (с 1984).
ЦУКЕРМАН Вениамин Аронович (1913-93) , российский рентгенотехник, основатель отечественной импульсной рентгенографии. Автор первых работ по рентгенографическому исследованию явлений взрыва и детонации. Создатель оригинальной рентгенотехники. Ленинская премия (1960). Государственная премия СССР (1946, 1949, 1955, 1978).