Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 16

,

где предэкспоненциальный множитель (постоянная диффузии) Do и энергия активации диффузии DE - справочные величины.

k - постоянная Больцмана, T - температура процесса в Кельвинах.

Из [5] для галлия Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, при T = 1523 K D = 1,94 × 10-12 см2/с.

Заполняем расчетную таблицу, меняя расстояние от x поверхности с необходимой частотой, до значения при котором значение N(x) имеет порядок не более 1012. В первый столбец записываем выбранные значения x, во второй - . Затем находим значения erfc(z), воспользовавшись таблицей интеграла ошибок в [4], и вносим эти значения в третий столбец. После чего рассчитываем концентрации N(x), соответствующие каждому значению x и результаты записываем в четвертый столбец.

Таблица 4 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

x,

мкм

erfc(z)

N(x),

см-3

0

0

1

6×1019

2,5

2,12

0,002716

1,63×1017

0,5

0,42

0,552532

3,32×1019

3

2,54

0,000328

1,968×1016

1

0,85

0,229332

1,376×1019

3,5

2,96

0,000028

1,68×1015

1,5

1,27

0,072486

4,35×1018

4

3,38

0,000001753

1,052×1014

2

1,69

0,016847

1,012×1018

4,5

3,8

0,000000077

4,62×1012

Страницы: 12 13 14 15 16 17 18 19 20

ШЕКСПИР (Shakespeare) Уильям (1564-1616) , английский драматург, поэт; был актером королевской труппы. Поэмы "Венера и Адонис" (1593) - на мифологический сюжет, "Лукреция" (1594) - из римской истории. "Шекспировский канон" (бесспорно принадлежащие ему пьесы) включает 37 драм. Ранние пьесы проникнуты жизнеутверждающим началом: комедии "Укрощение строптивой" (1593), "Сон в летнюю ночь" (1596), "Много шума из ничего" (1598). Трагедия о любви и верности ценою жизни "Ромео и Джульетта" (1595). В исторических хрониках ("Ричард III", 1593; "Генрих IV", 1597-98), трагедиях ("Гамлет", 1601; "Отелло", 1604; "Король Лир", 1605; "Макбет", 1606), в "римских трагедиях" (политических - "Юлий Цезарь", 1599; "Антоний и Клеопатра", 1607; "Кориолан", 1607), лирико-философских "Сонетах" (1592-1600, опубликованы в 1609) нравственные, общественные и политические конфликты эпохи осмыслил как вечные, неустранимые, как законы мироустройства, при которых высшие человеческие ценности - добро, достоинство, честь, справедливость - неизбежно извращаются и терпят трагическое поражение. Создал яркие, наделенные могучей волей и сильными страстями характеры, способные как к героическому противоборству с судьбой и обстоятельствами, самопожертвованию, переживанию ответственности за разлад мира ("распавшуюся связь времен"), так и готовые преступить нравственный "закон" и погибнуть ради всепоглощающей их идеи или страсти (честолюбия, власти, любви). Поиски оптимистического решения конфликтов привели к созданию романтических драм "Зимняя сказка" (1611), "Буря" (1612). Трагедии Шекспира - величайшие образцы трагического в мировой литературе.

ТАРРАСА (Tarrasa) , город на северо-востоке Испании, в авт. обл. Каталония, промышленный пригород Барселоны. 160 тыс. жителей (1989). Текстильная, металлургическая, электротехническая промышленность.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РУССКИЙ ХОР , создан в 1936 в Москве. С 1955 академический. Организатор и главный дирижер (до 1980) А. В. Свешников. С 1987 главный дирижер и художественный руководитель В. Н. Минин. В репертуаре хоровая музыка различных композиторских школ и стилей.