Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 20

Литература.

1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.

3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.

4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.

5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.

Страницы: 16 17 18 19 20 

ЖУК Сергей Яковлевич (1892-1957) , российский гидротехник, академик АН СССР (1953), генерал-майор инженерно-технической службы (1943), Герой Социалистического Труда (1952). Директор Гидропроекта (с 1942, с 1957 им. Жука). Руководил проектированием и строительством Беломорско-Балтийского канала, канала им. Москвы, Волго-Донского комплекса, Волго-Балтийского водного пути, ГЭС на Волге - Угличской, Рыбинской и др. Государственная премия СССР (1950, 1951).

МОКРОУСОВ Борис Андреевич (1909-68) , российский композитор. Опера "Чапаев" (2 редакция 1942; 3 редакция 1961), оперетта "Роза ветров" (1947), песни (св. 60), в т. ч. "Заветный камень", "Одинокая гармонь". Государственная премия СССР (1948).

ОБЯЗАТЕЛЬНОЕ ОБУЧЕНИЕ , см. в ст. Всеобщее обучение.