Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 20
Литература.
1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991. -528 с.
2. Шишлянников Б.М. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Методические указания к курсовому проектированию для студентов направления 550700. Новгород, 1998. – 41с.
3. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1972. - 432 с.
4. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1969. - 336 с.
5. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /Под ред. П. Антонетти и др.; Пер. с англ. - М.: Радио и связь. 1988. - 496 с.
ЕВФОРИОН , в греческой мифологии юноша редкой красоты, сын Ахилла и Елены, перенесенных после смерти на волшебный о. Левка. Бежал от преследований влюбленного в него Зевса и за это был поражен молнией. У Гете в "Фаусте" Евфорион - сын Фауста и Елены, воплощение мятежного духа.
УНИВЕРСАЛ , закрытый кузов легкового автомобиля с двумя или тремя рядами сидений, тремя или пятью дверьми (одна из них - задняя), с багажным отделением, размещенным за спинкой заднего сиденья внутри пассажирского помещения.
ФЕБА , спутник Сатурна, открыт У. Пикерингом (США, 1898). Расстояние от Сатурна 12,95 млн. км, диаметр ок. 220 км, сидерический период обращения 550,4 суток.