Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 17
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С=1223 К, и времени диффузии 30 мин.=1800 с.
Коэффициент диффузии галлия в кремнии при Т=9500 С, N0=3×1019см-3.
Диффузия проходит согласно выражению (18).Дальнейший ход работы идет аналогично пункту 1.4.1. Заполняем расчетную таблицу.
Таблица 5 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии
|
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
x, мкм |
|
erfc(z) |
N(x), см-3 |
|
0 |
0 |
1 |
3×1019 |
0,1 |
2,05 |
0,003742 |
1,123×1017 |
|
0,02 |
0,41 |
0,562031 |
1,6861×1019 |
0,12 |
2,46 |
0,000503 |
1,5091016 |
|
0,04 |
0,82 |
0,246189 |
7,386×1018 |
0,14 |
2,87 |
0,000049 |
1,47×1015 |
|
0,06 |
1,23 |
0,08195 |
2,4585×1018 |
0,16 |
3,28 |
0,0000035 |
1,05×1014 |
|
0,08 |
1,64 |
0,020378 |
6,1134×1017 |
0,18 |
3,69 |
0,00000018 |
5,4×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб.
 |
ЛЬЮИС Карл (р . 1961), американский спортсмен (легкая атлетика). Чемпион Олимпийских игр 1984 (бег 100 и 200 м, эстафета 4 · 100, прыжки в длину), 1988 (бег 100 м, прыжки в длину) и 1992 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м). Семикратный чемпион мира: 1983 (бег 100 м, прыжки в длину, эсстафета 4 · 100 м), 1987 (прыжки в длину, эстафета 4 · 100 м), 1991 (бег 100 м, эстафета 4 · 100 м). Десятикратный рекордсмен мира.
ЯКОВЛЕВА Елена Алексеевна (р . 1961), российская актриса, заслуженная артистка России. С 1984 (с перерывами) в театре "Современник". Широкую популярность приобрела, снявшись в фильме П. Е. Тодоровского "Интердевочка" (1989). Среди других работ - роли в телесериале "Петербургские тайны", в фильме С. Ю. Юрского "Чернов/Chernoff" и др.
ЭДО (Иеддо) , название до 1869 г. Токио.