Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 13
(19)
и (20)
здесь запись erfc-1 обозначает аргумент z функции erfc.
При решении практических задач, связанных с анализом диффузионных процессов необходимо знать количество примеси Q, накопленной в твердом теле при диффузии в течение времени t. Эта величина определяется по формуле
(21)
где J(0,t) - поток диффузанта в объем через плоскость x=0
(22)
отсюда
(23)
Следует обратить внимание на возрастающее со временем значение накопленной в диффузионном слое примеси при диффузии с данными граничными условиями.
Рассмотренная модель диффузионного процесса с постоянным источником описывает процесс диффузионного легирования полупроводникового материала из газовой или паровой фазы. Этот процесс используется при создании сильно легированных диффузионных слоев (например, эмиттерных) с поверхностными концентрациями No близкими к значениям предельной твердой растворимости примеси в данном полупроводниковом материале.
Твердое тело можно считать полубесконечным ( или бесконечным) в том случае, если его размеры в направлении движения диффузанта много больше длины диффузии.
1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей.
Диффундирующая примесь поступает в полубесконечное тело из источника, который представляет собой примыкающий к границе тела слой толщиной h, примесь в котором распределена равномерно. Такой источник называют ограниченным. Концентрация примеси в источнике - No. Полагается, что в принимающем диффузант твердом теле нет рассматриваемой примеси.
При абсолютно непроницаемой для диффузанта (отражающей) границе поток примеси через поверхность x=0 должен обращаться в нуль при всех t ³0
для t ³0 (24)
ЯНСОНС (Jansons) Арвидc Кришевич (1914-84) , латышский дирижер, народный артист СССР (1976). В 1944-1952 дирижер Латвийского театра оперы и балета (ныне Национальная опера Латвии), с 1947 также симфонического оркестра Латвийского радио, с 1952 2-й дирижер Ленинградского симфонического оркестра, одновременно в 1961-68 руководитель симфонического оркестра Ленинградской филармонии. Профессор Ленинградской консерватории (с 1972). Государственная премия СССР (1951).
ШЕНГЕЛИ Георгий Аркадьевич (1894-1956) , русский поэт. Поэтические сборники "Розы с кладбища" (1914), "Гонг" (1916), "Еврейские поэмы" (1919), "Раковина" (1922) и др.; драматическая поэма "Броненосец "Потемкин" (1923). Книга поэм "Вихрь железный" (издана в 1988). В советскую эпоху известен в основном как переводчик (из Э. Верхарна, В. Гюго, Дж Байрона, П. Верлена, Ш. Бодлера и др.) и теоретик стиха ("Трактат о русском стихе", 1921; книга "Техника стиха", издана в 1960). Наследие до сих пор в полной мере не опубликовано.
ЗВУКОВОЕ ПОЛЕ , область пространства, в которой распространяются звуковые волны.