ChemStudy

Заключение.

В данном курсовом проекте были рассмотрены процесс очистки полупроводникового вещества – зонная плавка и способ введения примеси в полупроводник – диффузия примеси.

Для процесса зонной плавки произведен расчет для трех очищаемых примесей: фосфор, галлий, сурьма. Результаты расчета представлены в виде таблиц и графиков: распределение удельного сопротивления и распределения каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

Эффективность очистки зависит от скорости кристаллизации: чем меньше скорость кристаллизации в донной примеси, тем лучше она очищается, таким образом при Vкр®0 kэфф®k0; Vкр®¥ kэфф®1. Но это не означает, что если мы уменьшим скорость кристаллизации до нуля, то получим исходное вещество в чистом виде – это лишь одно из условий очистки вещества. Определяющим является также равновесный коэффициент сегрегации (К0) , который отражает эффективность перераспределения между жидкой и твердой фазой, он должен отличаться от еденицы в большую или меньшую сторону. В нашем случае k0 Sb<k0 Ga<k0 P<1, соответственно сурьма лучше подвергается очистки по сравнению с галлием, а галлий лучше по сравнению с фосфором. Это все подтверждается результатами расчета – распределением концентраций каждой примеси вдоль слитка кремния после очистки зонной плавкой.

Анализ второй части расчета – метод введения и перераспределения примеси – диффузии показывает, что при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и одинаковом времени диффузии профиль распределения примеси в полупроводнике будет различен при нескольких температурах. Таким образом изменяя температурный режим можно изменить профиль распределения примеси в глубину полупроводника.

ЩИТОМОРДНИКИ , род ядовитых змей. Длина до 1,6 м. На голове некоторые щитки увеличены (отсюда название). 14 видов, в Евразии, Сев. и Центральной Америке; в России 2 вида, в низовьях Волги, южной Сибири и на Дальнем Востоке. Для человека укус щитомордника болезнен, но обычно через несколько дней наступает выздоровление. Яд используют в медицине.

ТЕЛЕТАЙП (от теле ... и англ. type - писать на машинке), приемно-передающий буквопечатающий телеграфный аппарат с клавиатурой, как у пишущей машинки. Применяется для передачи сообщений по каналам связи (телетайпной сети), а также в качестве устройства ввода-вывода информации в автоматизированных системах обработки данных. При приеме запись сообщений (информации) производится автоматически.

ЕВГЕНОВ Николай Иванович (1888-1964) , российской гидрограф и океанограф, исследователь Арктики, доктор географических наук (1937). Вел исследования в устье р. Оленек, дельте Лены, бухте Тикси (1920-1925); руководитель экспедиций в Карском м. (1926-1931).