Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 18
1.4.3 Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС=1223 К и времени диффузии 30мин=1800с. Условие перераспределения полностью отражающая граница. Т=1150ОС=1423 К, время 2 часа=7200с.
Произведение D1t1 для процесса загонки равно: D1t1 = 3,31×10-15×1800= 5,958×10-12 см2
Коэффициент диффузии для процесса перераспределения примеси (Do =0,374 см2/с , DE = 3,41 эВ, T = 1423 K) равен D = 3,128 × 10-13 см2/с. Произведение D2t2 = 3,128×10-13×7200= 2,25×10-9 см2. D2t2 > D1t1 (в 377 раз), т.е. условия быстрой истощаемости источника, следовательно, пользуемся для расчета распределения примеси выражением (27).
В первый столбец таблицы (6) заносим значения x, во второй значения exp(-x2/4D2t2), рассчитанные значения Ns заносим в третий столбец.
Таблица 6 - Результаты расчета распределения галлия в кремнии при диффузии из приповерхностного слоя.
x, мкм |
| Ns , см-3 | x, мкм |
| Ns , см-3 |
0 | 1,0 | 9,823×1017 | 1,8 | 0,02742 | 2,693×1016 |
0,36 | 0,866 | 8,507×1017 | 2,16 | 0,005633 | 5,534×1015 |
0,72 | 0,5624 | 5,525×1017 | 2,52 | 0,0008681 | 8,527×1014 |
1,08 | 0,274 | 2,69×1017 | 2,88 | 0,0001 | 9,854×1013 |
1,44 | 0,1 | 9,831×1016 | 3,24 | 0,0000087 | 8,541×1012 |
Полученные результаты используются для построения графика N = f(x) - примесного профиля.
ЖУ-ШОУ , в китайской мифологии бог осени и заката.
ГУРТОВОЙ Тимофей Иванович (1919-81) , дирижер, народный артист СССР (1967). Художественный руководитель и главный дирижер (в 1953-79) симфонического оркестра Молдавской филармонии. Профессор Кишиневского института искусств (с 1977).
ШПАК Владимир Степанович (р . 1909), российский химик-технолог, академик РАН (1991; академик АН СССР с 1981), Герой Социалистического Труда (1961). Труды по органическому синтезу (нитросоединений, фторорганических соединений и др.).