Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

УНШЛИХТ Иосиф Станиславович (1879-1938) , политический деятель. В 1919 нарком по военным делам Литовско-Белорусской ССР. С 1921 заместитель председателя ВЧК ГПУ. С 1923 член Реввоенсовета России, в 1925-1930 заместитель председателя Реввоенсовета СССР и заместитель наркомвоенмора. В 1933-35 начальник Главного управления Гражданского воздушного флота. Кандидат в члены ЦК в 1925-37. Репрессирован; реабилитирован посмертно.

ЗИНГШПИЛЬ (нем . Singspiel), разновидность комической оперы с разговорными диалогами, сложившаяся в 18 в. в Германии и Австрии ("Похищение из сераля", "Волшебная флейта" Моцарта).

ВСПЫХИВАЮЩИЕ ЗВЕЗДЫ (типа UV Кита) , разновидность эруптивных переменных звезд, холодные красные карлики с яркими линиями водорода и кальция в спектре, у которых через несколько суток (редко - часов) наблюдается кратковременное увеличение блеска.