Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

МЕТЕРЛИНК (Maeterlinck) Морис (1862-1949) , бельгийский драматург, поэт (писал на французском языке). Его символистская поэтика выражала протест против приземленности натурализма. Пьесы "Сестра Беатриса" (1900), "Монна Ванна" (1902), "Синяя птица" (1908). Нобелевская премия (1911).

УСРУШАНА (Уструшана) , историческая область в Ср. Азии 5-9 вв., северо-западные районы современного Таджикистана и сопредельные Узбекистана. В 5-9 вв. отдельное княжество. С кон. 9 в. в государстве Саманидов.

БХИКШУ (санскр . нищий), в древней Индии - буддийский монах; должен был носить песочно-желтые одежды и брить голову.