Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЗОНДСКИЕ ОСТРОВА , в составе Малайского арх. Св. 1,5 млн. км2. Разделяются на Б. и М. Зондские о-ва. Наибольшие острова - Калимантан, Суматра, Сулавеси, Ява. Рельеф преимущественно горный, активный вулканизм. Экваториальные леса, на юге муссонные леса и саванны. Большая часть принадлежит Индонезии.

ШНЕЙДЕРОВ Владимир Адольфович (1900-73) , российский кинорежиссер, сценарист, оператор, народный артист России (1969). Один из зачинателей географического фильма ("Великий перелет", 1925; "Два океана", 1933). Организатор и ведущий телевизионного Клуба кинопутешествий (1960-73). Поставил фильмы: "Джульбарс" (1936), "Ущелье Аламасов" (1937) и др.

ЛОНДОНСКОЕ КОРОЛЕВСКОЕ ОБЩЕСТВО (The Royal Society , London), ведущее научное общество Великобритании, один из старейших научных центров Европы. Основано в 1660. Среди инициаторов Р. Бойль. В числе первых руководителей. - Р. Гук, К. Рен, И. Ньютон. Св. 1 тыс. членов. Издает "Философские записки" - один из старейших научных журналов мира (с 1665).