Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ПАНИКС (Понике) , в прусской мифологии священный огонь, зажигаемый в ходе особого ритуала, символ домашнего очага.

ЖОРЕС (Jaures) Жан (1859-1914) , руководитель Французской социалистической партии, затем СФИО (с 1905). Основатель газеты "Юманите" (1904). Активно выступал против колониализма, милитаризма и войны. Убит 31 июля 1914, в канун 1-й мировой войны. Исследования по истории Французской революции кон. 18 в.

ЖЕНЕВСКИЕ КОНВЕНЦИИ 1949 , международные конвенции о защите жертв войны, подписанные 12.8.1949: 1) об улучшении участи раненых и больных в действующих армиях; 2) об улучшении участи раненых, больных и лиц, потерпевших кораблекрушение, из состава вооруженных сил на море; 3) об обращении с военнопленными; 4) о защите гражданского населения во время войны.