Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

УИЛКС Чарлз (1798-1877) , американский исследователь Океании и Антарктики. В 1838-42 руководитель комплексной экспедицией в южную часть Тихого ок. (описано ок. 260 островов Полинезии) и Антарктику, открыл часть побережья Вост. Антарктиды (Земля Уилкса).

ТАКТАШ (Такташев) Хади Хайруллович (1900/01-3 ..1), татарский поэт. Трагедии в стихах "Сыны земли" (192..1); лирика; в поэмах "Века и минуты" (1924), "Деревня Сыркыды" (1924), "Письма в грядущее" (1930-193..1). Драмы ("Утерянная красота", 1928 и др.), публицистика.

ЕПАРХИЯ (греч . eparchia), в православных церквах церковно-административная территориальная единица во главе с архиереем (епископом).