Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

УЗБОЙ (тюрк) ,..1) сухие русла, мертвые долины в пустынях Ср. Азии...2) Древняя долина в Туркмении, протягивается от Сарыкамышской котловины до Каспийского м., ограничивая с северо-запада пустыню Каракумы. Длина ок. 550 км, длина русла со всеми излучинами - 775 км. Высота менее 50 м (в западной части Узбой лежит ниже уровня океана). В долине цепи соленых озер, солончаковых впадин. Заросли саксаула.

ЗЫБЬ , волнение, продолжающееся после затихшего, ослабевшего или изменившего направление ветра или вызванное ветром в другом районе моря; длинные (до 800 м) и пологие волны высотой до 10-15 м и периодом до 17-20 с.

РЫБКА (Rybka) Эугениуш (р . 1898), польский астроном. Труды по звездной фотометрии, исследованию переменных звезд, истории астрономии.