Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЧЕТВЕРТЫЙ ПЕРЕДЕЛ , в металлургии - дополнительная обработка металла (главным образом проката), полученного после первых трех переделов: холодная прокатка металла, профилирование полосы (производство гнутых профилей), волочение, нанесение защитных покрытий, а также производство метизов и некоторых бытовых изделий.

ЭЙЗЕНАХ (Айзенах) (Eisenach) , город в Германии, земля Тюрингия, на р. Херзель. 45 тыс. жителей (1991). Автостроение, электротехническая, шерстяная, пищевая промышленность. Дом Мартина Лютера. Музей Иоганна Себастьяна Баха.

ЯНЧО Пал (1761-1845) , венгерский актер. Один из первых венгерских профессиональных комедийных актеров. С 1792 работал в театре г. Клужа. Искусство Янчо оказало значительное влияние на развитие комедийного искусства венгерского театра 19 в.