Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ИАМБА , см. Ямба.
ИДРИС Юсуф (1927-91) , арабский писатель (Египет). Сборник рассказов из народной жизни "Самые дешевые ночи" (1954), "Край света" (1961), повести "Грех" (1959), "Белая" (1970), пьесы отмечены юмором, остротой драматических конфликтов. Публицистика.
ПРАСОЛОВ Алексей Тимофеевич (1930-72) , русский поэт. В лирике, отмеченной пластичностью образа, метафоричностью, обращается к теме природы, философским вопросам. Сборники: "День и ночь", "Лирика" (оба 1966), "Земля и зенит" (1968), "Во имя твое" (1971) и др.