Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЕНИСЕЙСКИЙ ЗАЛИВ Карского м ., между Гыданским п-овом и п-овом Таймыр. Длина ок. 225 км, ширина у входа ок. 150 км, глубина 6-20 м. В Енисейский залив впадает р. Енисей. Свободен от льда 3 летних месяца. Рыболовство (нельма, омуль), промысел тюленя, белухи. На восточном берегу порт Диксон.

ЧЕРГИНСКИЙ ХРЕБЕТ на северо-западе Алтая . Ок. 100 км, высота до 1819 м.

ТАТСКИЙ ЯЗЫК , язык татов, относится к иранской группе индоевропейской семьи языков. Распадается на 2 диалекта: северный и южный. Северный диалект является одним из литературных языков Дагестана. Письменность на основе русского алфавита.