Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЯКОВЛЕВ Александр Евгеньевич (1887-1938) , российский и французский художник. Работал в Петербурге, завоевав известность как мастер живописи и графики в духе "нового классицизма". В 1917 покинул Россию и работал главным образом во Франции, подолгу путешествуя по странам Азии и Африки. В своих путевых зарисовках, картинах сочетал детальную наблюдательность с декоративным изяществом, непринужденной элегантностью манеры.

КАРЛФЕЛЬДТ (Karlfeldt) Эрик Аксель (1864-1931) , шведский поэт. Фольклорная сочность и этнографическая конкретность в неоромантических стихах о шведском крестьянине: сборники "Песни о пустоши и любви" (1895), "Песни Фридолина" (1898), "Сад Фридолина" (1901). Литературоведческие сочинения. Нобелевская премия (1931).

ВИНДИКАЦИЯ (лат . vindicatio, от vindico - заявляю претензию, требую) (виндикационный иск), в гражданском праве иск собственника или лица, владеющего имуществом на законном основании, об истребовании его из чужого незаконного владения.