Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

АХМЕДОВ Абдулла Рамазанович (р . 1929), туркменский архитектор, народный архитектор СССР (1984), действительный член АХ (1988). Основные работы (с соавторами): гостиница Интуриста "Ашхабад" (1967), ансамбль пл. Туран, в т. ч. здание библиотеки им. Азади (1969-74; Государственная премия СССР, 1976), - все в Ашхабаде.

ЧУБИНАШВИЛИ Георгий Николаевич (1885-1973) , грузинский искусствовед, академик АН Грузии (1941). Исследование грузинской архитектуры и изобразительного искусства.

ФЕБА , спутник Сатурна, открыт У. Пикерингом (США, 1898). Расстояние от Сатурна 12,95 млн. км, диаметр ок. 220 км, сидерический период обращения 550,4 суток.