Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ЮКАТАНСКИЙ ПРОЛИВ , между п-овом Юкатан и о. Куба. Ширина 200 км, наименьшая глубина судоходной части 1269 м. Через Юкатанский прол. из Карибского м. в Мексиканский зал. в течение всего года происходит мощный нагон воды, способствующий образованию Гольфстрима.
ЭГОПСИХОЛОГИЯ , направление глубинной психологии, выдвигающее на первый план сознательное "я" (лат. ego) как ведущую силу в процессе интеграции психики. Возникло в 1940-х гг. (немецкий психолог Х. Хартман и др.).
БОГДАНОВ Анатолий Петрович (1834-96) , российский зоолог и антрополог, один из основателей антропологии в России, член-корреспондент Петербургской АН (1890). Труды по краниологии в России.