Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЦЕХИН (итал . zecchino, от zecca - монетный двор), золотая монета, начала чеканиться в Венеции в 1284 весом 3-4 г. С сер. 16 в. чеканились в ряде европейских государств под названием дукатов.

ЗАК Исидор Аркадьевич (р . 1909), российский дирижер, народный артист СССР (1976). В 1928-68 дирижер оперных театров Ленинграда и других городов. С 1968 главный дирижер Новосибирского театра оперы и балета. Государственная премия СССР (1948).

ЗАВИТИНСК (до 1954 пос . Завитая), город в Российской Федерации, Амурская обл. Железнодорожный узел (Завитая). 22,3 тыс. жителей (1992). Маслозавод.