Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

УРОЛОГИЯ (от уро ... и ...логия), область клинической медицины, изучающая заболевания органов мочевой системы, а у мужчин - и половых органов и разрабатывающая методы их лечения и профилактики.

АЛИ-БЕЙ АЛЬ-КАБИР (1728-73) , мамлюкский правитель Египта с 1757 (с 1770 султан). В период русско-турецкой войны 1768-74 выслал турецкого пашу (1768), провозгласил (1770) независимость Египта и начал войну с Турцией. В 1772 был свергнут мамлюкскими беями, противниками борьбы с Турцией, и бежал в Палестину.

ЭЛЕКТРОТЕХНИКА , отрасль науки и техники, связанная с получением, преобразованием и использованием электрической энергии и охватывающая вопросы применения электрических и магнитных явлений в промышленности, связи, на транспорте и др.