Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

САМПО , в карело-финской мифологии волшебная мельница, символ вечного изобилия.

СПЕКТРОМЕТРЫ в ядерной физике , приборы для регистрации и измерения энергии (энергетического спектра) нейтральных и заряженных частиц. Спектрометры классифицируют по виду излучения (альфа-, бета-, гамма-спектрометры, нейтронный спектрометр и др.), по принципу их действия (магнитный, сцинтилляционный, полупроводниковый, кристалл-дифракционный и др.) и по конструктивным особенностям.

АЛЬБРЕХТ (Albrecht) Фридрих Рудольф (1817-95) , австрийский эрцгерцог, фельдмаршал (1863). Во время австро-итальянской войны 1866 командующий Южной армией, одержавшей победу в сражении под Кустоцей.