Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЯМЩИКИ , в России до кон. 19 в. крестьяне, исполнявшие ямскую, затем государственную извозную повинности. Были кучерами на ямских лошадях. Жили при ямах. Получали жалованье, до кон. 17 в. освобождались от налогов.

ЕЛИЗАВЕТПОЛЬСКОЕ СРАЖЕНИЕ , 13-14.9.1826 под Елизаветполем (ныне Гянджа) во время русско-персидской войны 1826-28. Русские войска под командованием генерала И. Ф. Паскевича разгромили персидскую армию наследника престола Аббас-мирзы.

ЗАБЕЛА (Врубель) Надежда Ивановна (1868-1913) , российская певица (лирико-колоратурное сопрано). Жена М. А. Врубеля. Пела на сцене Московской частной русской оперы, затем в Санкт-Петербурге. Н. А. Римский-Корсаков написал для нее партии Марфы ("Царская невеста"), Царевны-Лебеди ("Сказка о царе Салтане") и др.