Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ТИБА , город в Японии, на о. Хонсю, административный центр префектуры Тиба. 842 тыс. жителей (199..1). Порт в Токийском зал. (грузооборот ок. 140 млн. т. в год). Нефтехимическая, металлургическая, машиностроительная промышленность. Университет.

ТРИТОН , общее название интервалов увеличенной кварты и уменьшенной квинты, имеющих одну и ту же тоновую величину - 3 целых тона.

ЦЕТЛИН Михаил Осипович (1882-1945) , русский поэт. С 1919 в эмиграции (Франция, США). Стихи под псевд. Амари: сборники "Стихотворения" (1906), "Лирика" (1912), "Прозрачные тени" (1920), "Кровь на снегу. Стихи о декабристах" (1939). Книги прозы "Декабристы" (1933), "Пятеро и другие" (1944; о русских композиторах). Основатель и первый редактор (совместно с М. А. Алдановым) "Нового журнала" (с 1942).