Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

КРАЕВСКИЙ Андрей Александрович (1810-89) , российский издатель, журналист. Помогал А. С. Пушкину в редактировании журнала "Современник" (1836-37). Редактор ряда газет, в т. ч. "Литературной газеты" (1840, 1844-45). Издавал журнал "Отечественные записки" (1839-68). Один из учредителей первого российского телеграфного агентства (РТА, с 1866).

ГЕКСОГЕН (циклотриметилентринитрамин) , высокобризантное взрывчатое вещество. Белый кристаллический порошок. Теплота взрыва 5,5 МДж/кг. Водоустойчив. Применяется в боеприпасах, детонирующем шнуре, в составах для кумулятивных зарядов и т. д.

ПРОПП Владимир Яковлевич (1895-1970) , российский литературовед. Фундаментальные труды по теории и истории фольклора: "Морфология сказки" (1928), "Исторические корни волшебной сказки" (1946), "Русский героический эпос" (1955), "Русские аграрные праздники" (1963), "Проблемы комизма и смеха" (опубликован 1976).