Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ТАКАМАЦУ (Takamatsu) Жиро (р .1936), японский скульптор и живописец. Много занимался исследованиями перспективы. В начале 1960-х экспериментировал с передачей информации о предмете через тень ("Тени", 1964). С 1966 конструирует объекты, форма которых воспринимается только на значительном растоянии, при приближении же распадается на самостоятельные элементы ("Зеркальная площадь" для Экспо-70 в Осаке).

ХОМСКИЙ Павел Осипович (р . 1925), российский режиссер, народный артист России (1980). В 1957-59 главный режиссер Латвийского театра юного зрителя, в 1961-65 главный режиссер Ленинградского театра им. Ленинского комсомола, в 1965-73 главный режиссер Московского театра юного зрителя. С 1973 режиссер, с 1984 главный режиссер Театра им. Моссовета. Преподает в ГИТИСе с 1986 (профессор с 1987).

ХОАНГ КОНГ ТЯТ , руководитель крестьянского восстания во Вьетнаме в 1739-69. После его смерти восстание было подавлено.