Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
МИЛИУС (Milius) Джон (р . 1944), американский киносценарист, режиссер, продюсер. Основная тенденция творчества - романтическая поэтизация первобытно-агрессивных импульсов. Всемирную известность принес ему фильм "Конан-варвар" (1982). Поставил также фильмы: "Диллинджер" (1973), "Красный рассвет" (1984), "Прощай, король" (1989) и др.
ФУЛЛЕР (Fuller) Ричард Бакминстер (1895-1983) , американский архитектор и инженер. Разработал легкие и прочные "геодезические купола" - пространственные стальные конструкции из прямых стержней (выставочный павильон в Сокольниках в Москве, 1959).
ЧУЯ , река на Алтае, правый приток Катуни. 320 км, площадь бассейна 11,2 тыс. км2. Вдоль Чуи проходит Чуйский тракт.