Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЧАЙКОВСКАЯ Елена Анатольевна (р . 1939), российская спортсменка (фигурное катание), заслуженный тренер СССР (1970), балетмейстер. Заслуженный деятель искусств России (1994). Чемпионка СССР (1957). С 1993 главный тренер сборной команды России.

ИОНЕСКО (Ionesco) Эжен (1912-94) , французский драматург. Выходец из Румынии. Один из зачинателей абсурда драмы. В эксцентрически-гротесковых пьесах-притчах "Урок" (1951), "Лысая певица" (1950), "Носорог" (1959), "Воздушный пешеход" (1963), "Макбет" (1972) - ощущение кошмара, бессмысленности человеческой жизни; утверждение иррационализма общественного развития сочетается с критикой конформистского сознания (в "Носороге" - тоталитаризма). Роман "Отшельник" (1973). Книга "Театр" (новое издание, т. 1-5, 1962-74). Воспоминания, эссе.

КОРОЛЕВСКИЙ ШЕКСПИРОВСКИЙ ТЕАТР (Royal Shakespeare Theatre) , английский драматический театр. Основан в 1879 в Стратфорде-он-Эйвон. Ставит Пьесы У. Шекспира и проводит шекспировские фестивали (до 1961 Шекспировский мемориальный театр).