Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ОЗЕРОВ (наст . фам. Гольдберг) Лев Адольфович (1914-96), русский поэт. Лирические сборники "Ливень" (1947), "Светотень" (1961), "Далекая слышимость" (1975), "Земная ось" (1986). Книги о поэзии "Мастерство и волшебство" (1973), "Биография стихотворения" (1981).

БЕЙСБОЛ (англ . baseball), спортивная игра с мячом и битой, напоминающая лапту, на площадке 175 х 125 м, в которой участвуют 2 команды по 9 (североамериканский бейсбол) или по 11 (уэльский бейсбол) игроков каждая. Родина бейсбола - Англия; современные правила игры с 1845 (см. также Софтбол, Крикет). В Международной федерации бейсбола (IBF; основана в 1921) 71 страна (1991). Чемпионаты мира с 1938. В программе Олимпийских игр с 1992.

ЯИЦКИЙ ГОРОДОК , название г. Уральск в Казахстане до 1775.