Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ШЕНГЕЛИ Георгий Аркадьевич (1894-1956) , русский поэт. Поэтические сборники "Розы с кладбища" (1914), "Гонг" (1916), "Еврейские поэмы" (1919), "Раковина" (1922) и др.; драматическая поэма "Броненосец "Потемкин" (1923). Книга поэм "Вихрь железный" (издана в 1988). В советскую эпоху известен в основном как переводчик (из Э. Верхарна, В. Гюго, Дж Байрона, П. Верлена, Ш. Бодлера и др.) и теоретик стиха ("Трактат о русском стихе", 1921; книга "Техника стиха", издана в 1960). Наследие до сих пор в полной мере не опубликовано.

ЖИКИДИ (Jiquidi) Аурел (1896-1962) , румынский график. Лаконичные драматические антифашистские рисунки ("Здесь побывали легионеры", 1936), рисунки на историко-революционные темы, иллюстрации к произведениям Й. Крянгэ, М. Садовяну.

ШАНСКОЕ НАГОРЬЕ , главным образом на востоке Мьянмы. Ок. 150 тыс. км2. Высота до 2693 м. На западе - волнистые равнины, на востоке - сложная система хр. Каньоны Салуина и Меконга. Листопадные и вечнозеленые леса, саванны.