Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ГОРОХОВАЯ ТЛЯ , насекомое семейства тлей; вредитель гороха и других бобовых растений в Евразии, Сев. Америке. Бархатисто-зеленая, длина 4-5,5 мм. Питается соком растений.
СЕНТЕНЦИЯ (лат . sententia - мысль, изречение, приговор),1) изречение нравоучительного характера.2) Приговор военного суда в России в 1720-1917.3) Устаревшее название судебного решения, приговора.
ЭМЭ (Aimee; наст . имя Франсуаза Сориа, Sorya) Анук (р. 1932), французская киноактриса. В кон. 1950-х - нач. 1960-х гг. была одной из популярнейших романтических актрис Европы. Славу принесла ей картина К. Лелуша "Мужчина и женщина" (1966), успех которой автор решил впоследствии повторить, сняв фильм "Мужчина и женщина 20 лет спустя" с теми же актерами.