Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЙОККАИТИ , город в Японии, на о. Хонсю, пригород Нагои. 281 тыс. жителей (1992). Нефтеперерабатывающая, нефтехимическая промышленность.

САД (Sade) Донасьен Альфонс Франсуа де (1740-1814) , маркиз, французский писатель. В 1772 заключен в тюрьму по обвинению в разврате. Освобожденный в 1790, во время Великой французской революции, напечатал написанные в тюрьме романы "Жюстина, или Злоключения добродетели" (1791, 1794). "Новая Жюстина..." (1797), книгу "Философия в будуаре" (1795) (все в 1801 конфискованы); книгу "Сто двадцать дней Содома" (опубликована в 1931-35). В произведениях Сада патологическая эротика, инцест неотделимы от насилия и жестокости (отсюда садизм); сочинения Сада переполнены описанием пыток, убийств, богохульств. Созданные в стиле жизненного правдоподобия, романы Сада по существу абсолютно фантастичны, носят черты утопии. Снимая все моральные, культурные, социальные нормы и запреты, Сад превращает человека в чисто "природное" существо, в биологический механизм. С 1803 пожизненно в лечебнице для душевнобольных.

ФЕОДОР Ростиславич Черный , Смоленский, Ярославский (ум. 1299), благоверный князь, чудотворец. Память в Православной церкви 5 (18) марта и 19 сентября (2 октября).