Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ЯНСОНС (Jansons) Арвидc Кришевич (1914-84) , латышский дирижер, народный артист СССР (1976). В 1944-1952 дирижер Латвийского театра оперы и балета (ныне Национальная опера Латвии), с 1947 также симфонического оркестра Латвийского радио, с 1952 2-й дирижер Ленинградского симфонического оркестра, одновременно в 1961-68 руководитель симфонического оркестра Ленинградской филармонии. Профессор Ленинградской консерватории (с 1972). Государственная премия СССР (1951).

КОЛЬВИЦ (Kollwitz) Кете (1867-1945) , немецкая художница-график и скульптор. В графических сериях ("Восстание ткачей", 1897-98, "Крестьянская война", 1903-08, "Пролетариат", 1925), в скульптуре ("Родители", 1924-32), плакатах в острой экспрессивной форме выразила гуманистические общественные идеи.

ТЕРАТОГЕНЕЗ (от греч . teras, род. п. teratos - чудовище, урод и ...генез), формирование аномалий и уродств у растений, животных, человека в результате нарушений процесса эмбрионального развития, обусловленных как генетическими факторами (см. Наследственные заболевания), так и неблагоприятными влияниями на плод, напр., внутриутробной инфекцией.