Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ХАНТЕР (Гунтер) (Hunter) , английские врачи и анатомы, братья:..1) Уильям (1718-83), труд по анатомии и физиологии матки в различные периоды беременности (опубликован в 1774), предложил операцию при аневризме аорты...2) Джон (1728-93), один из основоположников экспериментальной патологии и анатомо-физиологического направления в хирургии, основатель научной школы; описал твердый шанкр (1786), различие между врожденной и приобретенной грыжами.

ЕРБАНОВ Михей Николаевич (1889-1938) , политический деятель. С 1921 председатель ревкома, исполкома Бурят-Монгольской а. о.; в 1923-27 председатель Совнаркома и ЦИК Бурят-Монгольской АССР. С 1929 1-й секретарь Бурят-Монгольского обкома партии. Член ЦРК КПСС с 1934. Репрессирован; реабилитирован посмертно.

ЖАКОЛИО (Jacolliot) Луи (1837-90) , французский писатель. Путевые очерки и приключенческие романы "Пожиратели огня" (1887), "В трущобах Индии" (1888) полны сочувствия к угнетенным народам. Этнографические труды, исследования, посвященные индийской религии и мифологии.