Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ОСИС (Osis) Янис (1895-1973) , латышский актер, народный артист СССР (1956). С 1919 в Латвийском театре драмы им. А. Упитса (Рига). Государственная премия СССР (1950, 1951).

ЗАГОСКИН Лаврентий Алексеевич (1808-90) , российский морской офицер, исследователь Аляски. Племянник Михаила Николаевича Загоскина. В 1842-44 руководил исследованиями в районе зал. Нортон и Коцебу, в бас. рек Юкон и Кускокуим.

"УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ" ТЕОРИЯ , теория, согласно которой господство акционерной формы предприятий приводит к отстранению собственников капитала от власти, к передаче ее в руки менеджеров, технократов. Возникла в 30-е гг. 20 в. (работы А. Берли и Г. Минса). В 40-е гг. развивалась Дж. Бернхемом, в 60-70-е гг. - Дж. Голбрейтом и др. "Управленческой революции" теория отражает процесс формирования института профессиональных организаторов производства - менеджеров.