Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ИГНАТОВА (наст . фам. Родионова) Елена Алексеевна (р. 1947), русская поэтесса. С 1990 в Израиле. Публиковалась в основном в самиздате. В поэзии - размышления о жизни, религиозные мотивы. Сборники стихов: "Окно" (1973), "Стихи о причастности" (1976), "Теплая земля" (1989) и др.

ЖЕНЕ (Genet) Жан (1910-86) , французский писатель. В первую половину жизни - бродяга и вор, в 1948 приговорен к пожизненному заключению, отмененному по ходатайству литераторов. В автобиографических романах "Богородица в цветах" (1942), "Чудо розы" (1946), документальном "Дневнике вора" (1949-50) - своеобразная, через обращение к приемам "черного" гротеска, героизация преступления; мотивы тотального разрушения и поругания в драмах "Служанки" (1947), "Балкон" (1956), "Ширмы" (1961), построенных в духе абсурда драмы.

ХАБАРОВСКИЙ ПРОТОКОЛ , советско-китайский. Подписан в Хабаровске 22.12.1929. О восстановлении положения в Северо-Зап. Китае (Маньчжурии), существовавшего до советско-китайского конфликта 1929.