Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ЦЗЯНМЫНЬ , город на юге Китая, порт в дельте р. Чжуцзян, пров. Гуандун. 230 тыс. жителей (1990). Машиностроение, химическая, бумажная, пищевая промышленность.
ВАЛЮТНЫЕ ОПЕРАЦИИ , банковские операции на валютных рынках, связанные с куплей-продажей иностранной валюты. Валютная операция осуществляется на условиях немедленной поставки валют ("спот") и в форме срочных сделок, т. е. поставка валюты в будущем по курсу, существовавшему на момент заключения сделки ("форвард"). Срочные валютные операции проводятся как для страхования от валютных рисков, так и для спекуляции на разнице между фактическими и ожидаемыми курсами. Ряд валютных операций представляет собой сочетание сделок "спот" и "форвард".