Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ГУЙГУ-ЦЗЫ (кит . учитель из долины оборотней), в китайской мифологии бессмертный мудрец, покровитель прорицателей, спутник Лао-цзы.
ЗУБАТЫЙ Йозеф (1855-1931) , чешский филолог, иностранный член-корреспондент АН СССР (иностранный член-корреспондент РАН с 1924). Труды в области индийской и классической филологии, чешского языка, сравнительной морфологии и сравнительно-исторического синтаксиса индоевропейских языков (главным образом балтийских и славянских).
ЮНГХУН (Junghuhn) Франц Вильгельм (1809-64) , немецкий естествоиспытатель и путешественник. В 1835-49 исследовал о-ва Ява и Суматра. Труды по палеонтологии, ботанике, геологии Малайского арх.