Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

СТЕПАНОВА Варвара Федоровна (1894-1958) , российская художница. Мастер конструктивизма. Жена и соратница А. М. Родченко. Активно участвовала в деятельности Инхука и ЛЕФа. От футуристических экспериментов 1910-х гг. (в т. ч. самобытных опытов визуальной поэзии) перешла к производственному искусству, создавая рисунки для тканей, новаторские образцы книжного и журнального оформления. Выступала также как художник театра и кино.

ЭКСТЕРНАЛИЗМ (от лат . externus - внешний), методологическое направление в истории и философии науки 30-х гг. 20 в., усматривающее источник развития научных идей непосредственно во внешних социальных (экономических и политических) факторах.

АММИАЧНАЯ ВОДА , 1) водный (18-25%-ный) раствор аммиака NH3; используется главным образом как жидкое азотное удобрение и для аммонизации кормов. 2) Водная часть конденсата, образующегося при обработке водой газов коксования (т. н. надсмольная вода); кроме NH3 содержит некоторое количество H2S, CO2 и др. примесей. Применяется как сырье в производстве сульфата аммония.