Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
![]()
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
![]()
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0,
(отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
ЯНКОВИЧ ДЕ МИРИЕВО (Jankovic Mirijevski) Федор Иванович (Теодор) (1741-1814) , сербский и российский педагог, последователь Я. А. Коменского, член Российской АН (с 1783). С 1782 жил в России, участвовал в разработке плана школьных реформ 1782-86. Учебники и дидактические руководства для народных училищ.
ЮБИЛЯЦИЯ (от лат . jubilatio - ликование), в музыке - продолжительный вокализ в конце аллилуйи, религиозно-восторженного характера.
УСТИ (Усти-над-Лабой) , город в Чехии, на р. Лаба, административный центр Северо-Чешской обл. 91 тыс. жителей (1986). Химическая, текстильная, машиностроительная, стекольная промышленность.