Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ГЕНУЭЗСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ 1922 (10 апр . - 19 мая), международная конференция по экономическим и финансовым вопросам с участием 28 европейских государств и России, а также 5 британских доминионов. Российская делегация выразила готовность обсудить вопрос о форме компенсации бывшим иностранным собственникам в России при условии признания Советов де-юре и предоставления ей кредитов. Российская делегация внесла предложение о всеобщем разоружении. Вопросы, стоявшие на Генуэзской конференции, разрешены не были, часть из них была перенесена на Гаагскую конференцию 1922. В ходе Генуэзской конференции российской дипломатии удалось заключить Рапалльский договор 1922 с Германией.

ЯДРИН , город в Российской Федерации, Чувашия, пристань на р. Сура, в 60 км от ж.-д. ст. Шумерля. 10,8 тыс. жителей (1993). Пищевая промышленность. Основан в 1590. Близ Ядрина - Чувашский конный завод (русские рысаки и тяжеловозы).

ЕГЕР Сергей Михайлович (1914-87) , российский ученый, член-корреспондент АН СССР (1984), Герой Социалистического Труда (1972). Участник создания ряда самолетов КБ А. Н. Туполева. Ленинская премия (1958), Государственная премия СССР (1949, 1952, 1986).