Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

АХВЛЕДИАНИ Георгий Сариданович (1887-1973) , грузинский языковед, академик АН Грузии (1941); член-корреспондент АН СССР (1939). Труды по индоиранистике (в т. ч. осетиноведению, кавказоведению), общему языкознанию, теории и практике логопедии.

ДЕЛОРМ (Delorme , de l'Orme) Филибер (между 1510 и 1515-1570), французский архитектор. Представитель Возрождения. Сочетал ордерные и готические элементы, ввел "французскую колонну" (с декоративными поясами), богатый скульптурный декор (замок-дворец Ане, начат в 1547).

СВИЩ (фистула) , патологический канал, соединяющий очаг заболевания (гнойник, опухоль) с поверхностью или какой-либо полостью тела, а также полые органы между собой (напр., желудочно-кишечный свищ). Может быть врожденным, в результате воспалительного процесса и др. причин.