Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ВЕСЛОНОГИЕ ПТИЦЫ (пеликанообразные) , отряд водоплавающих птиц. Все 4 пальца соединены плавательной перепонкой. На побережьях океанов и морей. 6 семейств: олуши, фаэтоны, фрегаты, бакланы, змеешейки, пеликаны.

ВИЛОРОГ (вилорогая антилопа) , жвачное животное отряда парнокопытных. Единственный вид семейства вилорогов. Длина до 1,3 м, высота 0,8-1 м. 5 подвидов в степях Сев. Америки. Был объектом промысла (мясо, шкура). Малочислен. 2 подвида в Красной книге Международного союза охраны природы и природных ресурсов.

РЕХОН ДЕ СИЛЬВА (Rejon de Silva) Диего Антонио (ок . 1740-96), испанский писатель, теоретик искусства. Автор плутовского романа "Приключения Хуана Луиса" (1781).