Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ОСОКОВЫЕ , семейство однодольных, преимущественно травянистых растений. Св. 400 видов, главным образом в умеренном и холодном поясах Северного полушария. К осоковым относятся камыш, осока, пушица, сыть, кобрезия, папирус и др.

ЩЕЛКИН Кирилл Иванович (1911-68) , российский физик, член-корреспондент АН СССР (1953), трижды Герой Социалистического Труда (1949, 1951, 1954). Труды по горению и детонации в приложении к ядерному взрыву. Предложил теорию спиновой детонации. Ленинская премия (1958), Государственная премия СССР (1949, 1951, 1953).

ХАРЬКОВСКИЙ СЕЛЬСКОХОЗЯЙСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ им . В. В. Докучаева, основан в 1816 как Агрономический институт. Готовит инженеров по сельскохозяйственным, химическим, экономическим, экологическим и другим специальностям. В нач. 90-х гг. ок. 5 тыс. студентов.