Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 11
Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид
, (12)
здесь x - текущая координата интегрирования.
Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.
Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.
Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду
(13)
В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.
Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.
АУГСБУРГСКОЕ ИСПОВЕДАНИЕ , изложение основ лютеранства, составленное Ф. Меланхтоном (1530).
ТРЕХ БРАТЬЕВ ПЕЩЕРА (Les Trois Freres) , департамент Арьеж, Франция, с верхнепалеолитической гравировкой и росписью (лошади, бизоны, мамонты, северные олени и др.); изображение т. н. колдуна с рогами оленя и хвостом.
ЦИНЦАДЗЕ Сулхан Федорович (р . 1925), грузинский композитор, народный артист СССР (1988). Балеты "Демон" (1961), "Риварес" (1982), струнные квартеты, миниатюры для струнного квартета. Профессор Тбилисской консерватории (с 1973; в 1965-84 ректор). Государственная премия СССР (1950).