Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 11

Общее решение уравнения (11) для бесконечного твердого тела при заданном в общем, виде начальном распределении примеси N(x,0) = f(x) может быть найдено методом разделения переменных. Оно имеет вид

, (12)

здесь x - текущая координата интегрирования.

Бесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=- ¥ и до x=+ ¥.

Часто при поиске распределения концентрации примеси в полупроводнике необходимо решение уравнения (11) для полубесконечного твердого тела. Полубесконечным в одномерном представлении называют тело, простирающееся от x=0 до x=+ ¥.

Для этого случая выражение (12) может быть приведено к виду

(13)

В выражении (13) знак плюс относится к ситуации, когда граница твердого тела (x=0) является непроницаемой для диффундирующего вещества, находящегося в области x>0, (отражающая граница), а знак минус - к случаю, когда на границе твердого тела в любой момент времени концентрация диффундирующего вещества, также находящегося в области x>0, равна нулю - связывающая граница.

Представленные решения позволяют находить распределения примеси в твердом теле при любых начальных условиях. Решение конкретной задачи сводится к подстановке в (12) или (13) соответствующих ситуации начальных условий с последующими, как правило, очень громоздкими преобразованиями.

Страницы: 7 8 9 10 11 12 13 14 15

СПАФАРИЙ Николай Гаврилович (Милеску Николае Спэтарул , Milescu) (1636-1708), молдавский ученый, дипломат, писатель. В 1653-71 на службе у молдавских и валашских господарей. С 1671 в России, переводчик Посольского приказа. В 1675-78 возглавлял русское посольство в Пекине. Участник Азовского похода 1695. Книги "Путевой дневник" (издана 1882) и "Статейный список посольства Н. Спафария в Китай" (1675-78, издана 1906) - первые в России описания Китая.

ЦИПА , река в Забайкалье, левый приток Витима. 692 км, площадь бассейна 42,2 тыс. км2. Средний расход воды 170 м3/с. В верховьях протекает через оз. Баунт.

У ЦЗЫ-СЮЙ , в китайской мифологии бог приливов, обожествленный сановник (5 в. до н. э.), покончивший с собой по приказу государя и брошенный в воду.