ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЮРМАЛА (Jurmala) , город в Латвии, климатический и бальнеогрязевой курорт, между южным берегом Рижского зал. и р. Лиелупе. Образован в 1959 из городов Кемери, Слока и Юрмальского р-на Риги. Включает цепь населенных пунктов: Лиелупе, Булдури, Дзинтари, Майори, Дубулты (адм. ц.) и др. Через Юрмалу проходит электрифицированная железная дорога (14 ст.) Рига - Тукумс. 66,5 тыс. жителей (1990). Целлюлозно-бумажный завод; фабрики: "Техноинформ", художественных вязаных и галантерейных изделий; завод спортивных лодок и др. Исторический и художественный музей, Музей-дача латышского поэта Я. Райниса.

ИРРЕДЕНТИЗМ (от итал . irredento - неосвобожденный), политическое и общественное движение в Италии в кон. 19 - нач. 20 вв. за присоединение к Италии пограничных земель Австро-Венгрии с итальянским населением - Триеста, Трентино и др. Вначале ирредентизм был представлен демократической оппозицией, в 20 в. стал использоваться империалистической буржуазией для оправдания широких территориальных притязаний на Балканах и в Адриатике.

ТАНДЕМ (англ . tandem),..1) расположение однородных устройств (цилиндров поршневых машин, насосов и т. д.) последовательно по одной оси. Напр., в 2- или 3-цилиндровой паровой тандем-машине все поршни связаны с одним общим штоком и шатуном и работают на один общий кривошип...2) Двухместный 2-колесный велосипед с двойной сблокированной передачей...3) То же, что перезарядный ускоритель.