ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

"МОЛОДАЯ ГЕРМАНИЯ" , литературное течение 30-х - нач. 40-х гг. 19 в. в Германии. Вдохновленная Июльской революцией 1830 во Франции и идеями Л. Берне группа писателей (К. Гуцков, Л. Винбарг, Г. Лаубе, Т. Мундт и др.), выражавших стремление к политическим и гражданским свободам, к социально-критическому искусству.

УЛЬТИМАТУМ (позднелат . ultimatum, букв. - доведенное до конца), в международном праве выраженное в дипломатическом документе или в устной форме категорическое, не допускающее никаких споров и возражений требование правительства одного государства, предъявляемое правительству другого государства, под угрозой того, что в случае невыполнения этого требования к указанному сроку выдвинувшее ультиматум правительство примет определенные меры.

ДЖЕМ (англ . jam), пищевой продукт, получаемый увариванием плодов или ягод в сахарном сиропе до желеобразного состояния.