ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

РОБЕРТ ДЕ БОРОН (2-я пол . 12 в.), англо-нормандский поэт. Автор стихотворного романа "Иосиф Аримафейский" - важнейшего источника мотивов средневековой словесности, связанных со священной чашей Грааль.

ЕВАНГЕЛИЯ (от греч . euangelion - благая весть), раннехристианские сочинения, повествующие о земной жизни Иисуса Христа. Разделяются на канонические - Марка, Матфея, Луки, Иоанна (включенные церковью в состав Нового Завета) - и апокрифические. Церковь приписывает авторство Евангелий апостолам либо их ученикам. Вероятно, Евангелия складывались в кон. 1 - нач. 2 вв.

ИРЛАНДСКОЕ ВОССТАНИЕ 1916 , 24-30 апреля, против английского господства (центр - Дублин). Возглавлялось Ирландской гражданской армией во главе с Дж. Конноли. Подавлено английскими войсками; руководители расстреляны, многие участники высланы.