ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЭСКВИЛИН (Esquilinus) , один из семи холмов, на которых возник Др. Рим.

ПАПАНОВ Анатолий Дмитриевич (1922-87) , российский актер, народный артист СССР (1973). С 1948 в Московском театре сатиры (Юсов - "Доходное место" А. Н. Островского, 1967; Фамусов - "Горе от ума" А. С. Грибоедова, 1976; Хлудов - "Бег" М. А. Булгакова, 1977). Снимался в фильмах: "Живые и мертвые" (1964), "Бриллиантовая рука" (1969), "Белорусский вокзал" (1971) и др. Мастер озвучивания мультфильмов (Волк - "Ну, погоди!", 1969-81, и др.). Государственная премия СССР (1989, посмертно).

ПОНТИФИКАТ (лат . pontificatus), в католической церкви власть и период правления римского папы. Один из титулов папы - понтифекс (pontifex - первосвященник).