ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

АНГЛИЧАНЕ (самоназвание - инглиш) , народ, основное население Великобритании. Общая численность 48,5 млн. человек (1992), в т. ч. в Великобритании 44,7 млн. человек, Канаде 1 млн. человек, Австралии 940 тыс. человек, США 650 тыс. человек, ЮАР 230 тыс. человек, Индии 200 тыс. человек, Нов. Зеландии 188 тыс. человек. Язык английский. Верующие - в основном англикане.

СЛОНЫ , семейство млекопитающих отряда хоботных. Самые крупные наземные животные (высота до 4-4,5 м, весят до 5, иногда до 7,5 т). Кожа почти голая, лишь вымерший мамонт имел густой волосяной покров. 1 вид (2 подвида) в лесах тропической Африки и 1 вид в Юго-Восточной Азии. Питаются растительной пищей. Численность африканских слонов сокращается из-за разрушения местообитаний и браконьерской охоты ради бивней (слоновая кость). Индийский слон легко приручается и используется для различных работ. Оба вида в Красной книге Международного союза охраны природы и природных ресурсов (МСОП).

УРУГВАЙ , Восточная Республика Уругвай, государство в Юж. Америке. Омывается водами Атлантического ок. 178 тыс. км2. Население 3,15 млн. человек (1993), главным образом уругвайцы. Городское население 85,5% (1990). Официальный язык - испанский. Верующие в основном католики. Административно-территориальное деление: 19 департаментов. Столица - Монтевидео. Глава государства и правительства - президент. Законодательный орган - двухпалатный парламент (Сенат и Палата представителей). Поверхность холмисто-равнинная. Климат субтропический океанический. Средние температуры июля 10-12 °С, января 22-24 °С. Осадков 1000-1200 мм в год. Главные рр. Уругвай, Рио-Негро. Травянистые и кустарниковые саванны, на востоке - пальмовые рощи. Ок. 10 национальных парков (Кабо-Полоньо, Санта-Тереса и др.). Коренное население Уругвая - индейцы. С нач. 16 в. испанцы вели борьбу против индейских племен; к кон. 18 в. они установили систему латифундистской собственности на землю с использованием труда ввезенных из Африки рабов, издольщины, отработок. В 1811 в ходе Войны за независимость испанских колоний в Америке 1810-26 Уругвай провозгласил независимость, в 1816 был оккупирован португальцами, в 1821 включен в состав Бразильской империи, в 1825 - в состав Аргентины. С 1828 независимая республика Уругвай, которая была признана Бразилией и Аргентиной. В 1830 принята 1-ая конституция Восточной Республики Уругвай. В 1838 началась продолжительная гражданская война между радикальными либералами ("красные", партия "Колорадо") и консерваторами ("белые", партия "Бланко"), в результате которой вплоть до кон. 1950-х гг. власть в стране сохраняли представители партии "Колорадо". Парламентские выборы 1958 принесли победу партии "Бланко", которая почти 100 лет находилась в оппозиции. В 1966 на всеобщих выборах победу вновь одержала партия "Колорадо". Рост влияния новых организаций, партий и группировок, вошедших в "Широкий фронт", вызвал активизацию вооруженных сил. С их помощью в 1973 был совершен государственный переворот. В 1983 был осуществлен переход от авторитарной формы правления к конституционной. Уругвай - индустриально-аграрная страна с высокоразвитым животноводством экспортного направления. Доля в валовом национальном продукте (1991, %): сельское хозяйство и рыболовство 9,8, промышленность 25,1. Ведущая отрасль сельского хозяйства - разведение мясных пород крупного рогатого скота и шерстных овец. Поголовье (1992, млн.): крупного рогатого скота 9,5, овец 25,7; настриг шерсти 95 тыс. т. Главные сельскохозяйственные культуры: пшеница, рис, сахарный тростник, кукуруза, масличный лен, подсолнечник, кормовые травы. Развиты виноградарство, цитрусоводство. Лесозаготовки. Рыболовство (улов рыбы 144 тыс. т в 1991). Производство электроэнергии 7,4 млрд. кВт. ч (1991), главным образом на ГЭС. Крупная пищевкусовая (мясохладобывающая, винодельческая, консервная), текстильная (преимущественно шерстяная), кожевенно-обувная промышленность. Нефтеперерабатывающие, химические, металлургические, электротехнические, автосборочные предприятия. Длина железных дорог ок. 3 тыс. км, автодорог 52 тыс. км. Тоннаж морского торгового флота 282 тыс. регистровых брутто-тонн. Основной морской порт - Монтевидео. Экспорт мяса и мясопродуктов, шерсти, кож и кожсырья. Основные внешнеторговые партнеры: Бразилия, Аргентина, США, Германия, Италия. Денежная единица - уругвайское песо.