Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ПЛИСЕЦКАЯ Майя Михайловна (р . 1925), российская артистка балета, народная артистка СССР (1959), Герой Социалистического Труда (1985). В 1943-88 в Большом театре (Одетта-Одиллия - "Лебединое озеро" П. И. Чайковского, 1947; Китри - "Дон Кихот" Л. Ф. Минкуса, 1951). В искусстве Плисецкой сочетаются традиции русской хореографической школы с новаторскими устремлениями современного балета. Поставила балеты, в которых исполнила главные партии: "Анна Каренина" (1972, совместно с другими балетмейстерами), "Чайка" (1980) и "Дама с собачкой" (1985) Р. К. Щедрина, мужа Плисецкой. В 1988-90 художественный руководитель балетной труппы "Театро лирико насиональ" (Мадрид). Плисецкая завоевала всемирное признание, ее зарубежные гастроли были триумфальными. Снимается в кино. Воспоминания: "Я, Майя Плисецкая", 1994. Ленинская премия (1964).

ЛИНИМЕНТЫ , лекарственная форма - жидкие мази.

ОДАРЧЕНКО Юрий Павлович (1903-60) , русский писатель. В 20-е гг. эмигрировал во Францию. В стихах (сборник "Денек", 1949) и прозе (рассказ "Ночное свидание", 1956; неоконченная автобиографическая повесть "Детские страхи" и др. - собрано в издании: "Стихи и проза", 1983) - сюрреалистические детали, неожиданные образы и сюжеты, часто восходящие к народным сказкам, детскому фольклору (в т. ч. к т. н. "страшилкам"). Покончил жизнь самоубийством.