ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ХОВЕЛЬЯНОС (Ховельянос-и-Рамирес) (Jovellano Ramirez) Гаспар Мельчор де (1744-1811) , испанский просветитель, поэт, драматург, ученый и государственный деятель. В 1767-74 член Высшего апелляционного совета в Севилье, в 1778-90 член трибунала Высшего кастильского совета, в 1797-98 министр юстиции. В период Испанской революции 1808-14 возглавлял либеральное меньшинство в Центральной хунте. Физиократ. Драма "Благородный преступник" (1774).

КРАЕВСКИЙ Андрей Александрович (1810-89) , российский издатель, журналист. Помогал А. С. Пушкину в редактировании журнала "Современник" (1836-37). Редактор ряда газет, в т. ч. "Литературной газеты" (1840, 1844-45). Издавал журнал "Отечественные записки" (1839-68). Один из учредителей первого российского телеграфного агентства (РТА, с 1866).

ВЕРХУВЕН (Verhoeven) Пауль (р . 1938), нидерландский кинорежиссер. Начинал карьеру как документалист, в 1971 дебютировал в игровом кино. Удачно сложился его творческий союз с актером Рутгером Хауэром. Известность принесла ему эротико-сатирическая комедия "Турецкое наслаждение" (1973), международное признание - масштабный псевдоисторический боевик "Плоть + Кровь" (1985), открывший ему дорогу в Голливуд, где были сняты "Робокоп" (1987), "Вспомнить все" (1990), эротический триллер "Основной инстинкт" (1992).