ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРИВОД (электропривод) , электромеханическое устройство для приведения в движение механизма или машины, в котором источник механической энергии - электрический двигатель. В электрический привод входят также передаточный механизм, преобразовательное устройство и аппаратура управления. В автоматизированном электрическом приводе управление осуществляется с использованием средств автоматики, в т. ч. микропроцессорной техники.

ЭДУАРД II (1284-1327) , английский король с 1307, из династии Плантагенетов. Был в постоянном конфликте с баронами. Во время одного из выступлений баронов, которых поддержали рыцарство и горожане (недовольные ростом налогов), низложен и убит.

"УТРЕННЯЯ ЗАРЯ" , парусная шхуна российского торгового флота (водоизмещение 50 т). Совершила в 1877 первое в истории коммерческое плавание из р. Енисей в Санкт-Петербург (капитан Д. И. Шваненберг) через моря Зап. Арктики, вокруг Скандинавии за 100 сут.