Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

МИЛИУС (Milius) Джон (р . 1944), американский киносценарист, режиссер, продюсер. Основная тенденция творчества - романтическая поэтизация первобытно-агрессивных импульсов. Всемирную известность принес ему фильм "Конан-варвар" (1982). Поставил также фильмы: "Диллинджер" (1973), "Красный рассвет" (1984), "Прощай, король" (1989) и др.

ФОМЕНКО Владимир Дмитриевич (р . 1911), русский писатель. Роман "Память земли" (кн. 1-2, 1961-70) о переменах в жизни донских станичников в связи со строительством Волго-Донского канала; рассказы (в т. ч. "Охотничья жилка", новое издание 1983), очерки.

"УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ" ТЕОРИЯ , теория, согласно которой господство акционерной формы предприятий приводит к отстранению собственников капитала от власти, к передаче ее в руки менеджеров, технократов. Возникла в 30-е гг. 20 в. (работы А. Берли и Г. Минса). В 40-е гг. развивалась Дж. Бернхемом, в 60-70-е гг. - Дж. Голбрейтом и др. "Управленческой революции" теория отражает процесс формирования института профессиональных организаторов производства - менеджеров.