ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ИГОЛЬНОГО МЫСА ТЕЧЕНИЕ (Агульясово течение) , поверхностное теплое течение в Индийском ок., у юго-восточных берегов Африки. Образуется при слиянии вод Мозамбикского и Мадагаскарского течений. Ок. 38о ю. ш. уходит в глубину.

ЦИСЛЕЙТАНИЯ (Cisleitanien) , неофициальное название Австрийской империи - части территории Австро-Венгрии (1867-1918) к западу от р. Лейта (лат. cis - по эту сторону), включавшей Австрию, Чехию, Моравию, Силезию, Галицию, Буковину, Далмацию и ряд др. областей.

ЖЕЛЕЗНОГОРСК , город (с 1962) в Российской Федерации, Курская обл., близ ж.-д. ст. Михайловский Рудник. 90,4 тыс. жителей (1992). Добыча железной руды (Михайловский горно-обогатительный комбинат), производство стройматериалов и др.