ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

РОМАНЦОВ Александр Иванович (р . 1948), российский актер, заслуженный артист России (1994). Играл в ленинградских театрах, с 1980 - в Большом драматическом театре им. М. Горького. Среди театральных работ: 5 ролей в спектакле "Лягушки" по Аристофану, Джим ("Продавец дождя" Р. Нэша) и др. Актерская манера Романцова отличается нервной утонченностью и пластичностью. Снимался в фильмах В. Г. Огородникова ("Бумажные глаза Пришвина", 1989; "Опыт бреда любовного очарования", 1991), А. В. Рогожкина ("Жизнь с идиотом", 1993) и др.

ЛУКЬЯН (Luchian) Штефан (1868-1916) , румынский живописец. Картины на социальные темы ("На раздел кукурузы", 1906), психологические портреты, жанровые сцены, образы людей из народа, пейзажи и натюрморты отличаются выразительной манерой, звучностью колорита.

ПИОНЕРСКАЯ , первая советская внутриконтинентальная полярная станция (1956-59) на склоне ледникового плато Вост. Антарктиды (на высоте 2741 м), в 375 км к югу от Мирного.