ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

НАСИЛИЕ , 1) применение определенной социальной группой различных форм принуждения в отношении других групп с целью приобретения или сохранения экономического и политического господства, завоевания тех или иных привилегий. Господствующие классы и другие социальные группы для сохранения своих привилегий применяют все средства насилия, вплоть до массового террора; они прибегают к насилию и в межгосударственных отношениях. Применение насилия, террора по отношению к народу - характерная черта тоталитарных режимов. 2) В праве - физическое (телесные повреждения, побои) или психическое (угроза) воздействие одного человека на другого. В российском праве преступления, связанные с применением насилия, влекут повышенную уголовную ответственность.

ЯХОНТОВ Владимир Николаевич (1899-1945) , российский артист эстрады. Мастер художественного слова. Выступал с 1922. Автор и исполнитель литературных композиций "Ленин", "Пушкин", "Идиот" ("Настасья Филипповна" по Ф. М. Достоевскому), "Вечера Маяковского" и др.

ИТИЛЬ , название р. Волга в средневековой арабской и персидской литературе.