ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ПАРАЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАНС , резонансное поглощение электромагнитных волн в веществе, обусловленное квантовыми переходами частиц между энергетическими состояниями с различной ориентацией дипольных электрических моментов частиц относительно внешнего электрического поля. Параэлектрический резонанс наблюдается в твердых телах в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн.

ЮСТИНИАН I (482 или 483-565) , византийский император с 527. Завоевал Сев. Африку, Сицилию, Италию, часть Испании. Провел кодификацию римского права (Корпус юрис цивилис), стимулировал большое строительство (храм св. Софии в Константинополе, система крепостей по Дунайской границе).

ЦУККИ (Zucchi) Вирджиния (1847-1930) , итальянская артистка балета, педагог. Выступала во многих странах, в 1885-92 гастролировала в России. Исполняла ведущие партии в постановках Мариинского театра в Санкт-Петербурге. Была выдающейся виртуозной танцовщицей.