Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

АУДИТОРЫ (от лат . auditor - слушатель), отдельные лица или специальные компании, уполномоченные финансовым органом или приглашенные предприятием, фирмой провести проверку его отчетности и финансового положения. Аудиторы дают также оценку предполагаемых операций, степени их риска, эффективности и т. д. В большинстве стран отчетность, подтвержденная аудиторами, подлежит обязательной публикации. В Российской Федерации в 1991 создана аудиторская служба. Законодательство устанавливает, в каких случаях обязательно заключение аудиторов.

САГАН (Sagan) Франсуаза (р . 1935), французская писательница. Многочисленные романы, в т. ч. "Здравствуй, грусть" (1954), "Любите ли вы Брамса?" (1959), "Немного солнца в холодной воде" (1969), "Потерянный профиль" (1974), "Нарисованная леди" (1981), "Уставшая от войны" (1985), - о любви, одиночестве, неудовлетворенности жизнью; отличаются ясностью повествовательной манеры, точностью психологического рисунка. Последние романы содержат черты массовой культуры. Пьесы, мемуары.

ЗАРНИЦКАЯ (наст . фам. Азгуриди) Ефросинья Филипповна (1867-1936), украинская актриса. На сцене с 1889, в труппах М. Л. Кропивницкого и др. В 1919-24 в Петроградском украинском театре им. Шевченко, в 1927-30 в харьковском Краснозаводском театре.