ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

НУРЕЕВ Рудольф Хаметович (1938-93) , артист балета, балетмейстер, дирижер. В 1958-61 в Ленинградском театре оперы и балета им. С. М. Кирова. Партии: Альберт ("Жизель" А. Адана), Базиль ("Дон Кихот" Л. Минкуса) и др. С 1961 жил за рубежом, выступал в Королевском балете Великобритании и других балетных труппах. Виртуозно владел как классическим, так и различными стилями свободного танца. Для Нуреева ставили балеты крупнейшие балетмейстеры Ф. Аштон, Р. Пети, М. Бежар. Постановки: акт "Тени" из балета "Баядерка" Минкуса (1968), "Буря" на музыку П. И. Чайковского (1982) и др. В 1985-89 художественный директор балетной труппы Парижской оперы. С 1991 выступал как дирижер.

УРЕМА (тюрк .), лиственные леса (тополь, ива, черемуха, вяз и др.) в поймах крупных рек.

ПОЛЯРНОСТЬ , в биологии - ориентация в пространстве морфологических процессов и структур организмов, приводящая к возникновению морфофизиологических различий на противоположных концах (или сторонах) клеток, тканей, органов и организма в целом. Напр., у семенных растений полярность проявляется уже в зиготе и зародыше, где формируются 2 полярно противоположных органа - листовая почка и корень.