ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ВЫПРЯМИТЕЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ , преобразователь переменного электрического тока в постоянный. Обычно выпрямление тока осуществляется электрическим вентилем, по типу которого различают выпрямители электрические: вакуумные, газоразрядные, полупроводниковые, электроконтактные. Применяют в устройствах автоматики и телемеханики, радиотехники (однофазные выпрямители электрические) и для питания мощных промышленных установок (трехфазные выпрямители электрические).

ОГ (Haug) Гюстав Эмиль (1861-1927) , французский геолог, иностранный член-корреспондент АН СССР (1925; иностранный член-корреспондент Петербургской АН с 1909). Основные труды по тектонике, стратиграфии, палеонтологии и региональной геологии Французских Альп. Доказывал, что трансгрессии в геосинклиналях сопровождаются регрессиями на платформах и наоборот. Автор учебника по геологии.

ЦЕЛЕСТИН , минерал класса сульфатов, Sr[SO4]. Светлоокрашенные таблитчатые кристаллы, зернистые или волокнистые агрегаты. Твердость 3-3,5; плотность ок. 4г/см3. По происхождению гипергенный (в осадочных породах), реже гидротермальный. Главная руда стронция.