ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЕЛАНЬ , поляна среди леса, пастбище, луг. Термин распространен в разных регионах России (восток Европейской части, Урал, Сибирь и др.). В западной Сибири елань - редкие березово-осиновые леса.

БАЛТУШИС (Baltusis) Юозас (наст . имя и фам. Альбертас Юозенас, Juozenas) (1909-91), литовский писатель, народный писатель Литвы (1969). Романы "Проданные годы" (т. 1-2, 1957-69), "Сказание о Юзасе" (1979), автобиографическая повесть "Пуд соли" (кн. 1-2, 1973-1975), пьесы, рассказы; книга публицистики "Высказывания и ответы" (1985). Многие произведения посвящены литовской деревне.

ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ (ЭВП) , служат для различного рода преобразований электромагнитной энергии (генерации, усиления и т. д.). К ЭВП относятся: вакуумные электронные приборы (электронные лампы, магнетроны, клистроны, электронно-лучевые приборы, рентгеновские трубки и т. д.), газоразрядные электронные приборы (ионные приборы).