ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЦЕРКОВНЫЕ СОБОРЫ , съезды (с сер. 3 в.) высшего духовенства христианской церкви для решения вопросов вероучения, церковного управления, дисциплины. Разделяются на вселенские и поместные.

КУСА , город (с 1943) в Российской Федерации, Челябинская обл., при впадении р. Куса в р. Ай. Железнодорожная станция. 22,6 тыс. жителей (1989). Заводы: машиностроительный, точных технических камней; художественное чугунное литье. Лесозаготовительная, деревообрабатывающая промышленность. Основан в 1778.

ХАЛЛ (Гулль , Кингстон-эпон-Халл) (Hull, Kingston upon Hull), город на востоке Великобритании, порт на Северном м., в эстуарии р. Хамбер. 263 тыс. жителей (1991). Машиностроение, химическая, деревообрабатывающая, пищевкусовая промышленность. Рыболовство. Университет.