Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

КАПИТУЛЯЦИИ (от ср .-век. лат. capitulo - договариваюсь), неравноправные договоры, которые навязывали в 18-19 вв. западные страны государствам Востока (Турции, Ирану, Японии, Китаю и др.); обеспечивали представителям и гражданам капиталистических государств особые привилегии (неподсудность местным судам, местное самоуправление, торговые льготы и пр.). Япония добилась отмены капитуляции в кон. 19 в., другие страны - в 1-й пол. 20 в.

НЕМЕЦКИЙ ТЕАТР , драматический. Открыт в 1883 в Берлине. В 1905-33 (с перерывами) театр возглавлял М. Рейнхардт. Главные режиссеры: В. Лангхофф (1946-63), Г. Вольфрам (1972-82), Д. Манн (с 1984-90), Т. Лангхофф (с 1990). В репертуаре пьесы Ф. Шиллера, Г. фон Клейста, Г. Гауптмана, Л. Н. Толстого и др.

ШОРЬЕ (Chorier) Никола (1612-92) , французский юрист и писатель. Автор напечатанного под псевдонимом эротического романа-драмы "Алоизия, или Диалоги Луизы Сигеа о таинствах Амура и Венеры" (опубликован на латыни в 1659, на французском языке - в 1681, не раз переиздан).