ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

БОГДАНОВ Михаил Александрович (1914-1995) , художник кино, народный художник СССР (1985), член-корреспондент АХ (1973). Фильмы (совместно с Г. А. Мясниковым): "Каменный цветок" (1946), "Мичурин" (1949), "Коммунист" (1958), "Война и мир" (1965-67).

ГАЗОНАПОЛНЕННЫЕ ПЛАСТИКИ , пластмассы, вспененные при помощи порообразователей или другими способами (наполнитель таких материалов - газ). Условно делятся на пенопласты и поропласты (первые содержат преимущественно замкнутые, вторые - сообщающиеся поры); особый вид газонаполненных пластиков - синтактические пены. Отличаются малой плотностью, тепло-, звуко- и электроизоляционными свойствами. Применяются для заполнения многослойных конструкций, теплоизоляции холодильных установок, электроизоляции кабелей, изготовления плавучих средств, в качестве фильтров для газов и жидкостей, амортизационного материала (напр., в производстве мебели). Наиболее широко используются газонаполненные пластики на основе полиуретанов, полистирола, поливинилхлорида.

ГЕРДТ Зиновий Ефимович (1916-96) , российский актер, народный артист СССР (1990). В 1945-82 в Центральном театре кукол (роль Конферансье в "Необыкновенном концерте", 1946, 1968, и др.). С 1987 по 92 в Московском театре им. М. Н. Ермоловой (с 1990 Московский международный театральный центр им. Ермоловой). Острохарактерный, преимущественно комедийный актер. Игру отличал грустный юмор, сочетание иронии, даже скептицизма, с тонкой лирикой. Снимался в фильмах: "Фокусник" (1966), "Золотой теленок" (1968), "Автомобиль, скрипка и собака Клякса" (1975), "Ключ без права передачи" (1977), "Сказки... сказки... сказки старого Арбата" (1982) и др.