ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ФРЕНО (Freneau) Филип (1752-1832) , американский поэт, публицист. Поэмы "Индейское кладбище" (1788), "Дом ночи" (1779), стихи, сочетавшие классицистические и романтические черты. Демократические тенденции, воспринятые поэзией аболиционизма.

ЦЕНТРАЛЬНАЯ АМЕРИКА , южная часть материка Сев. Америка, расположенная в тропических широтах между Тихим и Атлантическим (Мексиканский зал. и Карибское м.) океанами, на стыке с Юж. Америкой. Северная природная граница Центральной Америки - тектоническая впадина Бальсас у южного края Мексиканского нагорья (ок. 18 °с. ш.), южная - Дарьенский перешеек (8-9 °с. ш.). Иногда границы проводят по Теуантепекскому и Панамскому перешейкам. Преобладают средневысотные горы и вулканические хребты. Действующие вулканы (Тахумулько, 4217 м, и др.); высокая сейсмичность. Климат тропический; осадков до 3000-5000 мм в год. Влажные тропические леса на северо-востоке, листопадные леса и кустарниковая растительность на юго-западе и севере. На территории Центральной Америки государства: Белиз, Гватемала, Гондурас, Коста-Рика, Никарагуа, Панама, Сальвадор, частично Мексика.

ХИРАНЬЯКША (санскр . имеющий золотой глаз), в индуистской мифологии асура, противопоставивший себя богам. Повержен богом Вишну, принявшим облик вепря. Сын Кашьяпы и Дити, брат Хираньякашипу.