ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

АНДО-ЦЕЗСКИЕ НАРОДЫ (андо-дидойские народы) , группа народов в Российской Федерации, на западе Дагестана - андийцы, ахвахцы, багулалы, ботлихцы, годоберинцы, каратины, тиндалы, чамалалы, цезы (дидойцы), бежтины, гунзебцы, гинухцы, хваршины. Языки дагестанской ветви. Верующие - мусульмане-сунниты.

ЭНГИЕНСКИЙ ГЕРЦОГ (герцог Ангиенский) (duс d'Enghien) Луи Антуан (1772-1804) , французский принц, представитель боковой ветви Бурбонов (дома Конде). С начала Французской революции кон. 18 в. - в эмиграции. Заподозренный Наполеоном Бонапартом в намерении занять французский престол, был вывезен в 1804 отрядом французских драгун во Францию; обвинен в участии в заговоре Ж. Кадудаля, расстрелян.

ДУБРОВНО , город (с 1773) в Белоруссии, Витебская обл., близ ж.-д. ст. Осиновка. 9,8 тыс. жителей (1991). Комбинат стройматериалов. Известен с 16 в.