ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ГОЛДИНГ (Golding) Уильям (1911-93) , английский писатель. Философские романы-притчи "Повелитель мух" (1954), "Шпиль" (1964), "Зримая тьма" (1979), "Бумажные людишки" (1984) сочетают элементы мифа, религиозной и фрейдистской символики с реалистическим изображением характеров и обстановки. Стихи, публицистика, радиопьесы. Нобелевская премия (1983).

ПЕРЛЮСТРАЦИЯ (от лат . perlustro - обозреваю), тайное вскрытие государственными или иными органами, лицами пересылаемой по почте корреспонденции.

"ЗВЕНО" , политическая группировка (1927-44) и партия Народный союз "Звено" (1944-49) в Болгарии. В 1934 "Звено" (с помощью Военной лиги) произвело государственный переворот (у власти до 1935). В 1939-45 члены "Звена" вели борьбу против гитлеровской Германии. Лидер "Звена" К. Георгиев возглавил 9.9.1944 первое правительство Отечественного фронта (ОФ). В 1949 "Звено" влилось в ОФ.