ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

КОСГРЕЙВ (Cosgrave) Уильям Томас (1880-1965) , один из лидеров ирландской партии шинфейнеров. Участник Ирландского восстания 1916. Поддержал англо-ирландский договор 1921. В 1922-32 глава правительства.

ГАЕР Евдокия Александровна (р . 1940), российский государственный и общественный деятель, член-корреспондент РАЕН (1991). В 1969-89 научный сотрудник Института истории, археологии и этнографии народов Дальнего Востока (г. Владивосток). В 1989-91 народный депутат СССР, член Верховного Совета СССР. В 1993-95 депутат Совета Федерации Федерального Собрания Российской Федерации, заместитель председателя комитета по делам Севера и малочисленных народов.

ХЕЛЬЧИЦКИЙ (Chelcicky) Петр (ок . 1390 - ок. 1460), идеолог умеренных таборитов в Чехии. Выступал за создание (отрицая революционные методы) общества, основанного на равенстве и обязательном труде. Последователи Хельчицкого создали Общину чешских братьев.