ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЗАСОДИМСКИЙ Павел Владимирович (1843-1912) , русский писатель. Придерживался народнического направления. Основное произведение - роман "Хроника села Смурина" (1874).

ЦЭДЭВ Доджоогийн (р . 1940), монгольский писатель. Сборник стихов "Думы" (1979), поэма "Ритм сердца" (1984); в книге повестей, рассказов, прозаических миниатюр "Пятый перевал" (1983) - осмысление нового и традиционного в жизни нескольких поколений.

ЧАСТОТНО-КОНТРАСТНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА оптических систем (в т . ч. фотографических систем и фотослоев), описывает способность таких систем передавать модуляцию яркости объекта (контраст). Частотно-контрастную характеристику оптической системы обычно получают с помощью специальной штриховой решетки (миры) по зависимости контраста изображения, даваемого оптической системой, от частоты миры.