ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ХУРСАНИЯ , нефтяное месторождение в Саудовской Аравии (Персидского залива нефтегазоносный бассейн). Открыто в 1956. Залежи на глубине 2-2,3 км. Начальные запасы 314 млн. т. Плотность нефти 0,87 г/см3, содержание S 2,38%.

РЕКВИЕМ (по начальному слову лат . текста "Requiem aeternam dona eis, Domine" - "Вечный покой даруй им, Господи"), заупокойная месса. На традиционный латинский текст реквиема писали музыку многие композиторы (В. А. Моцарт, Г. Берлиоз, Ф. Лист, Дж. Верди); с 17 в. реквиемы создаются и на немецкие тексты из лютеранской Библии (Г. Щютц, И. Брамс), в 20 в. - на неканонические тексты (Б. Бриттен, Д. Б. Кабалевский).

БОЙ , организованное вооруженное столкновение подразделений, частей (кораблей), соединений; может быть общевойсковым, противовоздушным, воздушным и морским. Виды боя: наступательный, оборонительный и встречный.