ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

УДАВЫ (ложноногие) , семейство пресмыкающихся подотряда змей. Длина до 10 м, 80 видов, в т. ч. собственно удавы, питоны, анаконды и др., большинство - в тропических лесах. В России 2 вида рода удавчиков, встречаются на Сев. Кавказе Все удавы неядовиты; питаются главным образом птицами и мелкими млекопитающими; добычу душат, обвивая ее телом (отсюда название). 11 видов и подвидов в Красной книге Международного Союза охраны природы.

БАДАЛАМЕНТИ (Badalamenti) (псевд . Энди Бэдейл) Анджело (р. 1937), американский композитор, аранжировщик, поэт. Наибольший успех принес ему творческий союз с кинорежиссером Д. Линчем, к фильму которого "Синий бархат", а также телесериалу "Твин Пикс" написал музыку.

ШЕМАЯ , рыба семейства карповых. Длина до 40 см, весит до 800 г. В бас. Азовского, Черного, Каспийского и Аральского морей. Нерест в реках (кроме аральской формы). Ценный объект промысла. Малочисленна.