ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

"ЦЕССНА" (Cessna Aircraft Co .), американская самолетостроительная фирма. Основана в 1911. Специализируется на производстве легких самолетов авиации общего назначения, в т. ч. административных, т. е. предназначенных для перевозки официальных лиц государственных учреждений, фирм и компаний, а также принадлежащих этим организациям грузов.

ЮРГЕНСОН Петр Иванович (1836-1903/04) , российский нотоиздатель, музыкально-общественный деятель. Основал в Москве музыкальное издательство (1861), на базе которого в 1918 создано государственное музыкальное издательство (с 1931 Музгиз, с 1964 "Музыка").

ИМЯ (юрид .), присваивается ребенку при регистрации его рождения. Включает только имя либо имя, отчество и фамилию в совокупности.