ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ПРЕДЕЛЬНОЕ СОСТОЯНИЕ , в строительной механике - состояние конструкции (сооружения), при котором она перестает удовлетворять эксплуатационным требованиям. Метод предельного состояния является в Российской Федерации основным при расчете строительных конструкций.

ЮРСКИЙ Сергей Юрьевич (р . 1935), российский актер, режиссер, народный артист России (1987). С 1957 в Ленинградском Большом драматическом театре, с 1979 в Московском театре им. Моссовета. В 1992 организовал в Москве "АРТель АРТистов Сергея Юрского". Среди ролей: Чацкий ("Горе от ума" А. С. Грибоедова, 1962), Осип ("Ревизор" Н. В. Гоголя, 1972), Тесман ("Гедда Габлер" Г. Ибсена, 1983) и др. Снимался в фильмах "Время, вперед!" (1966), "Золотой теленок" (1968), телефильме "Место встречи изменить нельзя" (1979) и др. Поставил спектакли "Правда - хорошо, а счастье лучше" А. Н. Островского (1980, сыграл Грознова), "Игроки-ХХI" по Н. В. Гоголю (1992, МХАТ им. А. П. Чехова и "АРТель АРТистов Сергея Юрского") и др.; поставил фильм "Чернов, Chernov" (1990).

ФИННОЗЫ , то же, что цистицеркозы.