ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ТЭН (Taine) Ипполит (1828-93) , французский философ, социолог искусства, историк. Родоначальник культурно-исторической школы. Книги: "Критические опыты" (1858), "Философия искусства" (1865-69), "История английской литературы" (т. 1-4, 1863-64). В историческом труде "Происхождение современной Франции" (т. 1-6, 1876-94) критика Великой французской революции, якобинской диктатуры.

ГУСЕВ (до 1946 Гумбиннен) , город в Российской Федерации, Калининградская обл., при впадении р. Красная в р. Писса. Железнодорожная станция. 27,7 тыс. жителей (1992). Заводы: светотехнической арматуры, "Микродвигатель" и др.; трикотажная фабрика. Основан в 1724. Назван по имени капитана С. И. Гусева, погибшего в 1945 в боях за город.

СОСТЯЗАТЕЛЬНОСТЬ , в праве - демократический принцип судопроизводства, согласно которому разбирательство дела происходит в форме спора сторон в судебном заседании. Все участники процесса наделены равными процессуальными правами; суд обязан принимать все предусмотренные законом меры для всестороннего, полного и объективного исследования обстоятельств дела, установления истины, с тем чтобы вынести законное и обоснованное решение (приговор).