ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЩЕРБАТОВ Михаил Михайлович (1733-90) , князь, историк, публицист, почетный член Петербургской АН (1776). Идеолог корпоративных устремлений дворянства. Труды: "О повреждении нравов в России", (1858), утопический роман "Путешествие в землю Офирскую" (Cочинение, т. 1, 1896), "История Российская с древнейших времен" (т. 1-7, 1901-04).

ЧЖЭНЬЦЗЯН (Даньту) , город в восточной части Китая, пров. Цзянсу, порт на р. Янцзы и Великом канале. 368 тыс. жителей (1990). Шелкообрабатывающая, бумажная и пищевая промышленность; машиностроение.

ГАРПОКРАТ , в Др. Греции и Др. Риме имя египетского бога Гора, которого стали почитать как бога молчания. Изображался в виде мальчика в короне, с пальцем у рта, на бутоне лотоса.