Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ВИЗУАЛЬНАЯ ПОЭЗИЯ , вид искусства, соединяющий в себе словесное и зрительное творчество - стихотворения, чьи строки образуют декоративные или наделенные эмблематическим смыслом фигуры и знаки. Среди характерных примеров - искусство поэтической каллиграфии (в особенности в мусульманских, а также дальневосточных культурах), где неразличимо связаны узор и смысл; визуальная поэзия эпох маньеризма и барокко. Такого рода, нередко нарочито "заумными" вербально-визуальными опытами, увлекались также представители футуризма и дадаизма, тем самым обновляя современный полиграфический дизайн; особую тенденцию визуальная поэзия составляет и в постмодернизме.

ХАРЬЮМАА (Harjumaa) (Гарриен , Гаррия), древнеэстонский мааконд (земля) на севере современной Эстонии, с г. Варбола. В 13 в. захвачен Данией, включил землю Рявала с г. Таллин (Ревель). В 1347 уступлен Ливонскому ордену, с 1561 - в Швеции, часть - в Эстляндии. В России с 1710 - Ревельский у. Эстляндской губ.

ЖОФФРУА СЕНТ-ИЛЕР (Geoffroy Saint-Hilaire) , французские зоологи, отец и сын: 1) Этьен (1772-1844), эволюционист, один из предшественников Ч. Дарвина. Развивал учение о единстве плана строения всех животных, которое объяснял общностью их происхождения; критиковал учение Ж. Кювье о неизменяемости видов (публичная дискуссия, 1830). Положил начало экспериментальной тератологии и учению об акклиматизации животных. 2) Изидор (1805-61), академик (1833) и президент (1856-57) Парижской АН, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1856). Труды по тератологии, приручению и акклиматизации сельскохозяйственных животных. Автор первого курса общей биологии (1840).