ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

НОВА-ГОА , прежнее название г. Панаджи в Индии.

"ХОЖДЕНИЕ В НАРОД" , массовое движение молодежи в деревню. Началось весной 1873, наибольший размах - весна - лето 1874. Цели: изучение народа, пропаганда социалистических идей, организация крестьянских восстаний. Центры: санкт-петербургские и московские кружки "чайковцев", "Киевская коммуна". Охватило 37 губ. Европейской России. К ноябрю 1874 арестовано св. 4 тыс. человек, наиболее активные участники осуждены по "процессу 193-х".

ЯМБ (греч . iambos), стихотворный метр с сильными местами на четных слогах стиха ("Мой дЯдя сАмых чЕстных прАвил...", А. С. Пушкин). Самый употребительный из метров русского силлабо-тонического стиха; основные размеры - 4-стопный (лирика, эпос), 6-стопный (поэмы и драмы 18 в.), 5-стопный (лирика и драмы 19-20 вв.), вольный разностопный (басня 18-19 вв., комедия 19 в.).