ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЗУДОВ Вячеслав Дмитриевич (р . 1942), российский космонавт. Летчик-космонавт СССР (1976), полковник, Герой Советского Союза (1976). Полет на "Союзе-23" (октябрь 1976).

ИСЧИСЛЕНИЕ ПРЕДИКАТОВ , раздел математической логики, логическое исчисление, в алфавит знаков которого, помимо символов исчисления высказываний, входят также символы вещей (индивидов), их свойств и отношений, а также выражений "все" и "некоторые" (кванторы), позволяющие количественно охарактеризовать связи вещей, свойств и отношений; служит аксиоматизацией логики предикатов.

ВАЛЮТНЫЕ ОПЕРАЦИИ , банковские операции на валютных рынках, связанные с куплей-продажей иностранной валюты. Валютная операция осуществляется на условиях немедленной поставки валют ("спот") и в форме срочных сделок, т. е. поставка валюты в будущем по курсу, существовавшему на момент заключения сделки ("форвард"). Срочные валютные операции проводятся как для страхования от валютных рисков, так и для спекуляции на разнице между фактическими и ожидаемыми курсами. Ряд валютных операций представляет собой сочетание сделок "спот" и "форвард".