ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЦИТРА (нем . Zither), струнный щипковый музыкальный инструмент, получивший наибольшее распространение в Австрии и Германии в 19 в. Струны (в некоторых разновидностях до 40) натягиваются над грифом и вне грифа над декой. Аналогичные инструменты древнего происхождения встречаются у многих народов.

ФАУЗЕР (Fauser) Джакомо (1892-1971) , итальянский химик-технолог. Создал первую установку для синтеза аммиака под давлением (1920). Труды по технологии азотной кислоты, мочевины и др.

ЛЬВОВ Николай Александрович (1751-1803/04) , российский архитектор, художник, поэт, музыкант, член Российской АН (1783). Представитель классицизма: почтамт в Санкт-Петербурге (1782-89), собор в Торжке (1785-96), усадебные ансамбли (с. Никольское, близ Торжка, 1789-1804). Издал нотное собрание русских народных песен (1790, совместно с И. Прачем). Стихи, поэмы в духе сентиментализма, переводы.