ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ФУРАНОВЫЕ СМОЛЫ , синтетические полимеры, содержащие в молекуле фурановые циклы (см. Фуран). Наиболее распространенный вид - т. н. мономер ФА (жидкий продукт реакции фурфурола с ацетоном); применяется главным образом в производстве полимербетона. Другие фурановые смолы - продукты взаимодействия фурфурола с фурфуриловым спиртом, олигомеры последнего (фуриловые смолы) используют как связующие в производстве стекло- и асбопластиков, графитопластов, как пленкообразующие для лаков.

СЕРАМ , гористый остров в составе Молуккских о-вов, в Индонезии. 17,1 тыс. км2. Высота до 3019 м. Влажные тропические леса. Тропическое земледелие; рыболовство.

ЛОПУХИН Алексей Александрович (1864-1927?) , один из руководителей политического сыска в России, директор Департамента полиции (1902-05). В 1906 выступил с разоблачением провокаторских методов полиции и предал огласке деятельность Е. Ф. Азефа. В 1909 приговорен к 5 годам каторги (в 1912 помилован). С 1918 в эмиграции. Автор мемуаров.