Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ЯДЕРНЫЙ МАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС (ЯМР) , резонансное поглощение электромагнитных волн, обусловленное квантовыми переходами атомных ядер между энергетическими состояниями с разными ориентациями спина ядра. Для большинства ядер в магнитных полях ~103 - 104 Э ЯМР наблюдается в диапазоне частот 1-10 МГц. Спектры ЯМР используются для исследования структуры твердого тела и сложных молекул.

ЮРСКИЙ Сергей Юрьевич (р . 1935), российский актер, режиссер, народный артист России (1987). С 1957 в Ленинградском Большом драматическом театре, с 1979 в Московском театре им. Моссовета. В 1992 организовал в Москве "АРТель АРТистов Сергея Юрского". Среди ролей: Чацкий ("Горе от ума" А. С. Грибоедова, 1962), Осип ("Ревизор" Н. В. Гоголя, 1972), Тесман ("Гедда Габлер" Г. Ибсена, 1983) и др. Снимался в фильмах "Время, вперед!" (1966), "Золотой теленок" (1968), телефильме "Место встречи изменить нельзя" (1979) и др. Поставил спектакли "Правда - хорошо, а счастье лучше" А. Н. Островского (1980, сыграл Грознова), "Игроки-ХХI" по Н. В. Гоголю (1992, МХАТ им. А. П. Чехова и "АРТель АРТистов Сергея Юрского") и др.; поставил фильм "Чернов, Chernov" (1990).

КАССАНДРА , в греческой мифологии дочь царя Трои Приама, получившая от Аполлона пророческий дар. Аполлон, отвергнутый Кассандрой, сделал так, что ее прорицаниям перестали верить (так, троянцы не вняли словам Кассандры, предостерегавшей Париса от похищения Елены, последнее привело к Троянской войне и гибели Трои).