ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЖИКИДИ (Jiquidi) Аурел (1896-1962) , румынский график. Лаконичные драматические антифашистские рисунки ("Здесь побывали легионеры", 1936), рисунки на историко-революционные темы, иллюстрации к произведениям Й. Крянгэ, М. Садовяну.

ВАЛЕРИАНА (маун) , род многолетних трав семейства валериановых. Св. 200 видов, в Евразии, Юж. и Сев. Америке. Валериану лекарственную (высота стебля до 2 м) возделывают для получения из корней и корневищ успокаивающих лекарственных средств.

ТАНДЕМ (англ . tandem),..1) расположение однородных устройств (цилиндров поршневых машин, насосов и т. д.) последовательно по одной оси. Напр., в 2- или 3-цилиндровой паровой тандем-машине все поршни связаны с одним общим штоком и шатуном и работают на один общий кривошип...2) Двухместный 2-колесный велосипед с двойной сблокированной передачей...3) То же, что перезарядный ускоритель.