ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ШЛЮТЕР (Schluter) Андреас (ок . 1660-1714), немецкий архитектор и скульптор. Представитель барокко. Строил парадные, величественные здания (Городской дворец в Берлине, 1698-1706); памятник Фридриху Вильгельму (1696-1703) в Берлине. С 1713 - в России (отделка Летнего дворца в Санкт-Петербурге, 1713-14).

ЦЕРЕБРОЗИДЫ , группа сложных липидов (сфинголипиды). Содержатся в мембранах нервных клеток, особенно богато ими белое вещество мозга. Нарушение обмена цереброзидов у человека приводит к психическим заболеваниям.

ШТУР (Stur) Людовит (1815-56) , идеолог и руководитель словацкого национального движения 40-х гг., поэт, филолог. Участник Пражского восстания 1848. В 1848 перешел на позиции австрославизма. Разработал (вместе с Й. Гурбаном и М. Годжей) нормы словацкого литературного языка, его грамматику. Один из авторов концепции "славянской взаимности". Воззрения Штура стали идейно-художественой основой словацкого романтизма 40-70-х гг. 19 в. Философско-политические трактаты, труды по славянскому фольклору; патриотическая лирика и эпика.