Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 10

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

Страницы: 6 7 8 9 10 11 12 13 14

ЭНЗЕЛИ (в 1925-80 Пехлеви) , город в Иране, порт на Каспийском м. 56 тыс. жителей (1976). Лов и переработка рыбы. Табачная, деревообрабатывающая промышленность, судоверфь.

БИХЕВИОРИЗМ (от англ . behaviour, bihevior - поведение), ведущее направление американской психологии 1-й пол. 20 в. Считал предметом психологии не сознание, а поведение, понимаемое как совокупность двигательных и сводимых к ним словесных и эмоциональных ответов (реакций) на воздействия (стимулы) внешней среды. Родоначальник бихевиоризма - Э. Торндайк, программа и термин предложены Дж. Уотсоном (1913). Наибольшего развития достиг в 20-х гг.; идеи и методы бихевиоризма были перенесены в антропологию, социологию, педагогику, объединяемые в США в качестве "бихевиоральных наук", т. е. изучающих поведение. Необихевиоризм 1930-х гг. (Э. Ч. Толмен, К. Л. Халл), пытаясь преодолеть ограниченность основной схемы бихевиоризма "стимул - реакция", ввел в нее опосредствующее звено - "промежуточные переменные" (различные познавательные и побудительные факторы).

ИСПАНСКАЯ РЕВОЛЮЦИЯ 1820-23 , началась в январе 1820 выступлением под руководством Р. Риего-и-Нуньеса в Кадисе, восстановлением (март 1820) конституции 1812, образованием конституционного правительства (март - апрель 1820, правительство модерадос), которое провело ряд реформ. В августе 1822 власть перешла в руки эксальтадос; в мае 1823 вступил в силу закон об аграрной реформе. 7 апреля 1823 в Испанию по решению Священного союза вторглась французская армия. 30 сентября конституционное правительство капитулировало. 1 октября король Фердинанд VII восстановил абсолютистский режим.