ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЕВРОВИДЕНИЕ , международная организация телевидения, основана в 1954 в рамках Европейского союза радиовещания для регулярного обмена передачами между телеорганизациями европейских стран. С 1961 обменивается передачами с Интервидением. В 1994 в организации 63 телерадиокомпании из 48 стран. Местопребывание - Брюссель.

ЭХАЛИЯ , область в Греции (Пелопоннес) с городом того же названия. Город был разрушен Гераклом во время правления царя Эврита.

ФУКО (Foucault) Жан Бернар Леон (1819-68) , французский физик, иностранный член-корреспондент Петербургской АН (1860). Определил (1850) скорость света в воздухе и воде методом, названным его именем. Осуществил (1851) опыт с маятником (т. н. маятником Фуко), подтвердивший суточное вращение Земли. Обнаружил электрические вихревые токи (токи Фуко).