ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

МЕНИСКОВАЯ СИСТЕМА , зеркально-линзовая оптическая система, в которой перед сферическим (реже эллиптическим) зеркалом или перед системой зеркал и линз устанавливается 1 или несколько менисков. Менисковая система имеет малый астигматизм, в ней может быть скомпенсирована сферическая аберрация, сведена к нулю кома. Менисковые системы применяются в астрономии, фотографии и др.

ОЛИВИН , группа минералов подкласса островных силикатов, члены изоморфных рядов форстерит Mg2SiO4 - фаялит Fe2SiO4 - тефроит Mn2SiO4. Желтовато-зеленый, оливковый. Твердость 6-7; плотность 3,2-4,4 г/см3. По происхождению магматический (главный минерал многих ультраосновных изверженных пород и каменных метеоритов). Форстерит - сырье для огнеупоров. Прозрачный золотисто-зеленый оливин - хризолит - драгоценный камень.

ОМЕГА , ?, ?, последняя буква греческого алфавита. В переносном смысле "альфа и омега" - начало и конец.