ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ЧАРОИТ , минерал подкласса цепочечных силикатов. Волокнистые массы и длинностолбчатые агрегаты красивого фиолетового цвета. Твердость 5,5; плотность 2,5-2,6 г/см3. Образуется в щелочных сиенитах. Ценный поделочный камень. Единственное месторождение - на р. Чара.

ТЕКСТОЛОГИЯ (от текст и ...логия), отрасль филологии, литературоведческая дисциплина, изучающая произведения письменности, литературы и фольклора в целях критической проверки, установления и организации их текстов для дальнейшего исследования и публикации. Важнейшую задачу текстологии представляет установление, т. е. диахроническое, исторически осмысленное и критическое прочтение текста на основе изучения источников (рукописей, печатных изданий, исторических свидетельств), выявления их генеалогии и интерпретации переработок (редакций и вариантов), определения искажений (редакторами, цензурой). Важнейшее прикладное применение текстологии - издание текста произведения (эдиция). Методы изучения истории текста, сложившиеся в филологической текстологии, используются также в музыкальной текстологии.

ТЕПЛОФИКАЦИОННАЯ ЭЛЕКТРОСТАНЦИЯ , то же, что теплоэлектроцентраль.