ChemStudy

(8)

При простейшем анализе структур и в простейших моделях процессов легирования в технологии изготовления ИМС предполагаются именно такие условия диффузии.

Второе уравнение диффузии (второй закон Фика) получается путем сочетания первого закона и принципа сохранения вещества, согласно которому изменение концентрации вещества в данном объеме должно быть равно разности потоков этого вещества на входе в объем и выходе из него.

В общем случае второе уравнение диффузии имеет следующий вид

(9)

Для одномерной диффузии в изотропной среде уравнение (9) можно записать

(10)

Второй закон Фика характеризует процесс изменения концентрации диффундирующей примеси во времени в различных точках среды и является математической моделью нестационарного (развивающегося) состояния системы (описывает период времени от начала процесса до установления стационарного состояния).

При постоянстве коэффициента диффузии D (независимости его от концентрации примеси) уравнение (10) упрощается

(11)

Допущение о постоянстве коэффициента диффузии справедливо в большом количестве случаев, анализируемых в технологии ИМС.

Уравнения диффузии являются чисто феноменологическими, т.е. они не содержат никаких сведений о механизмах диффузии - о диффузионном процессе на атомном, уровне. Кроме того, уравнения (7) - (11) не содержат информации о зарядовом состоянии диффундирующих частиц.

Процессы диффузии, используемые для изготовления интегральных структур, обычно анализируются с помощью частных решений уравнения (11) т.к., в отличие от (8), именно оно содержит важный параметр - время установления некоторого анализируемого состояния системы. Основная цель решения уравнения - найти распределение примеси N(x,t) в полупроводнике после диффузии в течение определенного времени t при различных условиях осуществления процесса.

ОНЕГА , река в Российской Федерации, Архангельская обл. 416 км, площадь бассейна 56,9 тыс. км2. Вытекает из оз. Лача; при впадении в Онежскую губу Белого м. образует дельту. Средний расход воды 505 м3/с. Сплавная. Судоходна между порогами. На Онеге - г. Каргополь; в устье - г. Онега.

ЗЕВ , отверстие, соединяющее полость рта с глоткой и ограниченное сверху мягким небом, снизу - спинкой языка и по бокам - небными дужками с расположенными между ними миндалинами.

ЖДАНОВ Константин Иванович (1906-86) , российский конструктор воздушных винтов. Заслуженный изобретатель России (1970). В 1939-72 главный конструктор ОКБ в г. Ступино Московской обл. Руководил разработкой воздушных винтов изменяемого шага и вспомогательных силовых установок. Винты его конструкции установлены на многих отечественных самолетах. Ленинская премия (1958). Государственная премия СССР (1946).