Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 8
|
|
1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.
Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7
N0=0,02 % (массовых) = 4,62×10-3 % (атомных) = 2,31×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
| Участок зонной плавки | Участок направленной Кристаллизации | ||||
| а | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
| Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
|
0 | 8,64 1016 |
0,11 |
0 | 7,22 1017 | 0,028 |
|
1 | 1,68 1017 |
0,075 |
0,2 | 8,95 1017 |
0,023 |
|
2 | 2,47 1017 |
0,052 |
0,4 | 1,18 1018 |
0,0215 |
|
3 | 3,22 1017 | 0,047 | 0,6 | 1,74 1018 |
0,0192 |
| 4 | 3,95 1017 | 0,04 | 0,8 | 3,4 1018 | 0,014 |
| 5 | 4,66 1017 | 0,038 | 0,9 | 6,62 1018 | 0,0082 |
| 6 | 5,33 1017 | 0,033 | 0,99 | 6 1019 | 0,00135 |
| 7 | 6 1017 | 0,031 | – | – | – |
| 9 | 7,22 1017 | 0,028 | – | – | – |
| Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
|
0 | 2,54 1017 |
0,051 |
0 | 1,55 1018 | 0,02 |
|
1 | 4,68 1017 |
0,038 |
0,2 | 1,89 1018 |
0,018 |
|
2 | 6,6 1017 |
0,03 |
0,4 | 2,44 1018 |
0,016 |
|
3 | 8,32 1017 | 0,027 | 0,6 | 3,5 1018 |
0,013 |
| 4 | 9,86 1017 | 0,024 | 0,8 | 6,49 1018 |
0,0085 |
| 5 | 1,12 1018 | 0,022 | 0,9 | 1,2 1019 | 0,0055 |
| 7 | 1,36 1018 | 0,0205 | 0,99 | 9,3 1019 | 0,00088 |
| 8 | 1,46 1018 | 0,02 | – | – | – |
| 9 | 1,55 1018 | 0,02 | – | – | – |
| Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
|
0 | 1,8 1018 |
0,019 |
0 | 2,31 1018 | 0,0157 |
|
1 | 2,08 1018 |
0,017 |
0,2 | 2,42 1018 | 0,0156 |
|
2 | 2,2 1018 |
0,016 |
0,4 | 2,58 1018 |
0,015 |
|
3 | 2,26 1018 | 0,0158 | 0,6 | 2,82 1018 |
0,014 |
| 5 | 2,3 1018 | 0,0157 | 0,8 | 3,29 1018 |
0,0137 |
| 7 | 2,31 1018 | 0,0157 | 0,9 | 3,83 1018 | 0,012 |
| 9 | 2,31 1018 | 0,0157 | 0,99 | 6,36 1018 | 0,0086 |
РАДОНОВЫЕ ВАННЫ , из воды естественных радоновых источников или обычной пресной воды, насыщенной радоном, для лечения заболеваний опорно-двигательного аппарата, периферической нервной системы и др.
ЗАКОНОДАТЕЛЬНОЕ СОБРАНИЕ , 1) название парламентов в ряде зарубежных государств. 2) Во Франции высшее законодательное учреждение в период Великой французской революции 1789-94 и в 1849-51 при Второй республике.
СПАФАРИЙ Николай Гаврилович (Милеску Николае Спэтарул , Milescu) (1636-1708), молдавский ученый, дипломат, писатель. В 1653-71 на службе у молдавских и валашских господарей. С 1671 в России, переводчик Посольского приказа. В 1675-78 возглавлял русское посольство в Пекине. Участник Азовского похода 1695. Книги "Путевой дневник" (издана 1882) и "Статейный список посольства Н. Спафария в Китай" (1675-78, издана 1906) - первые в России описания Китая.