Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легированииСтраница 7
|
1.2.2 Расчет распределения Si-P.
Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97
N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
Участок зонной плавки | Участок направленной кристаллизации | ||||
а | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
0 | 4,25 1018 |
0,012 |
0 | 9 1018 | 0,0068 |
1 | 6,05 1018 |
0,009 |
0,2 | 1,01 1019 |
0,006 |
2 | 7,18 1018 |
0,0075 |
0,4 | 1,18 1019 |
0,0058 |
3 | 7,88 1018 | 0,0073 | 0,6 | 1,46 1019 |
0,0042 |
4 | 8,32 1018 | 0,0071 | 0,8 | 2,11 1019 | 0,0034 |
5 | 8,6 1018 | 0,007 | 0,9 | 3,05 1019 | 0,0024 |
6 | 8,76 1018 | 0,0069 | 0,99 | 1,03 1020 | 0,00085 |
7 | 8,87 1018 | 0,0069 | – | – | – |
9 | 9 1018 | 0,0068 | – | – | – |
Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
0 | 6,69 1018 |
0,0085 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
1 | 7,93 1018 |
0,0075 |
0,2 | 9,59 1018 |
0,0063 |
2 | 8,51 1018 |
0,0071 |
0,4 | 1,03 1019 |
0,006 |
3 | 8,8 1018 | 0,0069 | 0,6 | 1,15 1019 |
0,0057 |
4 | 8,93 1018 | 0,0068 | 0,8 | 1,38 1019 |
0,0052 |
5 | 9 1018 | 0,0068 | 0,9 | 1,65 1019 | 0,0045 |
7 | 9,03 1018 | 0,0066 | 0,99 | 3 1019 | 0,0024 |
8 | 9,04 1018 | 0,0066 | – | – | – |
9 | 9,05 1018 | 0,0066 | – | – | – |
Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
0 | 8,96 1018 |
0,0068 |
0 | 9,05 1018 | 0,0066 |
1 | 9,01 1018 |
0,0068 |
0,2 | 9,07 1018 | 0,0066 |
2 | 9,03 1018 |
0,0066 |
0,4 | 9,1 1018 |
0,0065 |
3 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,6 | 9,13 1018 |
0,0065 |
4 | – | – | 0,8 | 9,2 1018 |
0,0064 |
5 | – | – | 0,9 | 9,26 1018 | 0,0064 |
9 | 9,05 1018 | 0,0066 | 0,99 | 9,48 1018 | 0,0063 |
БЕТЕЛЬ , смесь пряных листьев перца бетель - кустарника семейства перечных (разводимого в тропической Азии) с кусочками семян пальмы арека и небольшим количеством извести. Используют как жвачку; возбуждает нервую систему.
ЕФИМОК (польск . joachymik), 1) русское название западноевропейского серебряного талера, из которого в 17 - нач. 18 вв. в России чеканились серебряные монеты; в 1704 принят за весовую (массы) единицу серебряного рубля. 2) Русский серебряный рубль, чеканенный в 1654.
УГЛЕНИТЫ , порошкообразные нитроглицериновые предохранительные взрывчатые вещества, допущенные к применению в шахтах всех категорий. Теплота взрыва 1,26-2,68 МДж/кг.