Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Страница 3

Рисунок1 – Схема зонной плавки.

Большинство примесей обладает хорошей растворимостью в жидкой фазе по сравнению с твердой (равновесный коэффициент сегрегации k0<1), поэтому по мере продвижения зона плавления все больше насыщается примесями, которые скапливаются на конце слитка. Обычно процесс зонной плавки повторяют несколько раз, по окончании очистки загрязненный конец слитка отрезают. Для ускорения процесса очистки вдоль контейнера ставят несколько индукторов для образования ряда зон плавления. Для материалов с k0>1 очистка материалов зонной плавкой практически невозможна.

Распределение примесей после одного прохода расплавленной зоной при зонной плавке вдоль слитка представляется уравнением

(1)

где Nтв – концентрация примеси в закристаллизовавшейся фазе на расстоянии x от начала слитка;

Nо – исходная концентрация примеси в очищаемом материале;

x – текущая координата (расстояние от начала слитка);

l – длина расплавленной зоны;

ko – равновесный коэффициент распределения.

Если измерять длину слитка в длинах расплавленной зоны a = x/l, выражение (1) следует записать иначе:

(2)

Приведенные уравнения (1) и (2) , являющиеся математическим описанием процесса зонной плавки, выведены при определенных допущениях, сформулированных автором метода зонной очистки В. Пфанном при выводе этих уравнений. Эти допущения в литературе принято называть пфанновскими, их суть в следующем:

1 Процессами диффузионного перераспределения компонентов системы в объеме слитка можно пренебречь, т.е. коэффициенты диффузии компонентов в твердой фазе принимаются равными нулю ( Dтв = 0 ).

2 Диффузия компонентов системы в жидкой фазе совершенна - концентрация компонентов постоянна по объему расплава в любой момент процесса;

Страницы: 1 2 3 4 5 6 7

ЕВГЕНИЙ Мелитинский (ум . 298), один из тридцати трех христианских мучеников-воинов, пострадавших в Мелитине в гонение императора Диоклетиана. Память в Православной церкви 7 (20) ноября.

БИОЛОГИЧЕСКАЯ НОМЕНКЛАТУРА , система научных названий на латинском языке в ботанике, зоологии, микологии и микробиологии для групп организмов, связанных той или иной степенью родства, - таксонов. Ботанические, зоологические и другие номенклатуры разрабатывают соответствующие международные комитеты, затем их утверждают на международных конгрессах и издают международные кодексы, имеющие силу законодательных документов. Существуют также анатомические, биохимические и другие номенклатуры. См. также Бинарная номенклатура.

ХАЛЛ (Гулль , Кингстон-эпон-Халл) (Hull, Kingston upon Hull), город на востоке Великобритании, порт на Северном м., в эстуарии р. Хамбер. 263 тыс. жителей (1991). Машиностроение, химическая, деревообрабатывающая, пищевкусовая промышленность. Рыболовство. Университет.