Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластинСтраница 1
Содержание
Стр.
1. Введение 2
2. Подложки интегральных микросхем и их назначение 3
2.1. Назначение подложек 3
2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства 4
3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 5
3.1. Возникновение загрязнений 5
3.2. Источники загрязнений 6
3.3. Виды загрязнений 6
4. Методы удаления загрязнений 8
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек 8
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек 9
4.2.1. Обезжиривание 9
4.2.2. Травление 10
4.2.3. Промывание пластин и подложек 13
4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13
4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15
4.3.1. Термообработка 15
4.3.2. Газовое травление 16
4.3.3. Ионное травление 17
4.3.4. Плазмохимическое травление 17
4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек 19
5. Заключение 20
6. Список литературы 20
1. Введение
Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.
ЕЛЕЦ , рыба семейства карповых. Длина обычно до 20 см, весит до 200 г, редко более. В водоемах Сев. и Центр. Европы, а также в реках бассейнов Каспийского, Черного (кроме Крыма и Кавказа), Азовского, Белого и Балтийского морей. В Сибири и Ср. Азии - подвиды. Объект спортивного лова.
ЯИДЗУ , город в Японии, на юго-востоке о. Хонсю, на побережье зал. Суруга. 114 тыс. жителей (1992). Узел скоростных железных и шоссейных дорог. Пищевая промышленность.
ФИЛЛОХИНОН (витамин К1) , жирорастворимый витамин. Участвует в биосинтезе факторов свертывания крови. Содержится в зеленых частях растений. У человека и млекопитающих животных образуется микрофлорой кишечника. Недостаток приводит к кровотечениям, снижению активности ряда ферментов.